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今日分享KAKUHUNTER写真化学反射式膜厚监测仪

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2024/11/14 10:47:21

今日分享KAKUHUNTER写真化学反射式膜厚监测仪

今日分享KAKUHUNTER写真化学反射式膜厚监测仪

反射式膜厚监测仪是一种反射分光式膜厚计,采用小型反射探头并采用光学干涉测量法,可应用于从实验室水平到生产过程中在线100%检查的所有情况。它具有出色的可维护性,可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

最多可同时测量 9 种透明薄膜。

它具有出色的可维护性,可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

例如,它可以用作成膜、抛光和蚀刻过程中的在线监控器或终点监控器(终点检测传感器),并可以实时监控膜厚。它

还可用于评价多晶硅的结晶度和多孔薄膜的密度。


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