3D显微镜/轮廓仪

3D显微镜/轮廓仪

3D成像显微镜在形貌量测功能领域具有突出表现。由于物镜的小分辨率和长焦深，样品不能由单次拍照获得。为了能够观察到长焦深范围内小尺寸特征和结构，托托科技采用景深融合技术，一次性观察不同焦深的高分辨率图像，保证了样品形貌量测准度和一致性。同时，该系统还集成了景深延拓功能，景深延拓通过分析不同焦点高度处的对比度变化，实现对物体的三维表面测量和特征描述，能够详细检查物体表面，并以长景深的方式获取精确的三维成像。3D成像显微镜是一种快速且高分辨率的技术，用于大范围的表面拓扑测量，能够实现亚纳米级分辨率的重建。

3D显微镜系列

具有高表面粗糙度重复精度、高垂直方向的测量精度、快速测量、观测细节可视化、数据化等优势，同时能够支持较大尺寸样品，非常适用于各个领域的精密测量。

神影 Miracle Vision系列提供了非接触的表面形貌测量，具有可重复性，可广泛应用于半导体芯片、光学透镜、金属表面、汽车涂层、MEMS器件等广泛精密加工行业的形貌、粗造度长度、曲率、深度、体积、颗粒分布等形貌测量，同样适用于航天、医疗、材料、科学研究领域。可检测各种粗糙度、各种反射率的器件表面，检测器件的表面尺寸从纳米、微米到毫米，都可由同一台设备完成，提供主流的国内外标准下，上百种测量参数，将观测细节可视化、数据化，一次完成。

Miracle Vision 3D显微镜

• 表面粗糙度重复精度高达0.1 nm

• 垂直方向测量精度可达1 nm

• 支持样品尺寸可达1000 mm及以上

景深融合-清晰的2D成像

由于物镜的小分辨率和长焦深不能由单次拍照获得。为了能够观察到长焦深范围内小尺寸特征和结构，托托科技采用景深融合技术，一次性观察不同焦深的高分辨率图像。

景深延拓-景深延拓3D成像

景深延拓通过分析不同焦点高度处的对比度变化，实现对物体的三维表面测量和特征描述，能够详细检查物体表面，并以长景深的方式获取精确的三维成像。

白光干涉形貌仪-纳米级的3D形貌量测

白光干涉形貌仪是一种快速且高分辨率的技术，用于大范围的表面拓扑测量，能够实现亚纳米级分辨率的重建。