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AWL系列 舜宇晶圆检查系统
- 型号
- AWL系列
- 参数
- 晶圆最小厚度:150μm
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详细信息
AWL系列可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便，又可称作晶圆自动搬送机。
360°宏观检查
AWL系列具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查1的360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面倾斜角度≤70°，晶背1倾斜角度≤90°，晶背 2倾斜角度≤160°，利用旋转功能、倾斜角度，可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
人机工程学设计
LCD 显示屏，可为操作者提供更直观的视觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率，充分体现了国产晶圆搬送机的人机工程学设计理念。
精密微观检查
采用专业半复消色差金相物镜，可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统，可排查 μm 级异常，诸如孔未开出，短路，断路，沾污，气泡，残留等。
应用领域
晶圆缺陷观察
详细技术规格
