一、步进式Stepper光刻机 产品参数：

1. 解像力：≤350nm                                                  

2. 投影倍率：1:5                    

3. 市场尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

4. 光源：i-Line 365nm         

5. 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可选)

6. 晶圆尺寸：50mm（2inch）/75mm（3inch）/100mm（4inch）/150mm（6inch）/200mm（8inch）（可选）

7. 套刻精度：≤40nm

8.设备尺寸：（W）1900*（D）2600*（H）2450mm

二、步进式Stepper光刻机 企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。