半导体参数测试仪4200A-SGS特点

• 用于 DC IV、CV 和脉冲 IV 测量类型的高级测量硬件

• 立即使用 Clarius 软件中所含的数百种用户可修改应用程序测试开始测试

• 自动实时参数提取、数据绘图、分析函数

准确的 C-V 表征

使用半导体参数测试仪4200A-SCS的电容-电压单元 (CVU) 4215-CVU 测量一位数飞法。通过将 1 V AC 电源集成到 CVU 架构中，4215-CVU 可在 1 kHz 至 10 MHz 的频率下进行低噪声电容测量。

特点

• 能够驱动1 V AC 电源电压的 CV 表

• 1 kHz 频率，分辨率从1 kHz 到 10 MHz

• 测量电容、电导和导纳

• 使用 4200A-CVIV 多路开关可测量四个通道

生物传感器检定

生物传感器或 bioFET 将对分析物的生物响应转换为电信号。集成到 4200A-SCS 中的 Clarius 软件包括一个用于测试 bioFET 的项目。以此为起点检定生物传感器的传输和输出特性，并从这里展开工作。

飞法电容测量

使用 4215-CVU 模块测量亚毫微微法拉电容。通过驱动 1 V AC，在测量 1 fF 电容器时，4215-CVU 的噪声水平可低至 6 attofarad。这只是 Clarius 软件随附的用于测量电容和提取重要参数的数十种应用程序之一。

半导体和 NVM 可靠性

通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。 4200A-SCS 为 NVRAM 技术提供支持和即用型测试，从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。 电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。

提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能

采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。 该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用，同时可与 4210-CVU 结合使用，执行更高频率测量。

特点

• .01 ~ 10 Hz 频率范围，1 pF ~ 10 nF 灵敏度

• 3½ 位典型分辨率，典型值 10 fF

使用长电缆或电容式夹具时进行测试

当测试需要非常长的电缆或具有较高电容的夹具时，请使用 4201 或4211-SMU。这些 SMU 非常适合连接 LCD 测试站、探测器、开关矩阵或任何其他大型或复杂的测试仪。现场可安装版本使您无需将设备返回服务中心即可增加容量。

材料电阻率

使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。 内含测试可自动重复执行范德堡计算，节省您宝贵的研究时间。 10aA 的上限电流分辨率和大于 10­­­­16 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。

MOSFET 检定

4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器，用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。 内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。 只需触摸一个仪器盒中的按钮，即可运行所有这些测试。