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超1.5亿元预算!中国科学院半导体研究所采购大批半导体专用设备

化工仪器网 2026-10-12 • 378阅读
  近期,中国科学院半导体研究所公布大批仪器采购意向,计划采购激光器腔面钝化设备、高精度倒装焊芯片键合机、关键尺寸扫描电子显微镜、涂胶显影机、离子束刻蚀机、电感耦合等离子体刻蚀系统、高通量半导体量子材料微结构分析仪等仪器设备,预算总金额15893万元。预计采购时间2026年10月~11月。
 
  采购意向只是政府采购的初步安排,具体采购情况以中国科学院半导体研究所发布的采购公告和采购文件为准,有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
 
中国科学院半导体研究所仪器采购意向汇总

序号

采购项目
名称

预算金额
(万元)

预计
采购日期

1

激光器腔面钝化设备

1100

2026年10月

2

角度端面调谐精密研磨抛光设备

420

3

全自动芯片耦合贴装设备

520

4

高精度倒装焊芯片键合机

500

5

关键尺寸扫描电子显微镜

800

6

步进式光刻机

2200

7

涂胶显影机

220

8

离子束刻蚀机

300

9

MOCVD系统

1300

10

分子束外延系统

1400

11

HVPE系统

1000

12

超快瞬态光谱测试系统

400

13

高分辨超晶格结构测试仪

210

14

高精度自动对边光刻设备

350

15

量子材料发光测试仪

250

16

电感耦合等离子体刻蚀系统

320

17

高密度等离子体介质膜沉积系统

255

18

外延层微纳缺陷表征平台

122

19

半导体低维量子材料生长及原位表征系统升级配件

200

2026年11月

20

傅里叶变换红外光谱仪升级红外显微镜配件

150

21

低温光学测试系统

98

22

稀释制冷机系统

470

23

高通量半导体量子材料微结构分析仪

178

24

减压化学气相沉积系统

1350

25

电子束曝光系统配件升级

980

26

原子层沉积系统配件升级

400

27

脉冲激光沉积系统

210

28

流片服务

190

合计

15893

 

来源:中国政府采购网

整理:化工仪器网

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