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首页>光学仪器及设备>电子显微镜>扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM)

N-6000纳米探针检测系统

型号
日立科学仪器有限公司

高级会员12年 

生产厂家

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荧光光谱,质谱,液相色谱

  日立高新技术集团的企业理念是“以成为先端技术领域里提供高科技解决方案的*为目标”。在这个理念的指引下,将电子装置系统、生命科学系统、信息电子系统、*产业材料系统等各个事业部门的“先端技术”推向世界的Z前线。

  为了应对日新月异的技术革新和需求的多样化,达成事业的化,日立高新技术集团同时具有用先端技术开发制造新产品的制造功能和向提供优化解决方案的贸易公司机能,是一家在先端科技领域里向*更快、更好地提供产品和服务的性企业。

  日立高新技术集团Z重视的是在中国地区的事业战略。我们在上海、北京、深圳、香港设立了独资公司,这些地方分公司在中国的11个地区设有销售和技术服务网点。同时在苏州和大连还设有生产基地。日立高新技术集团不但支持中国电子产业和高科技产业发展的半导体制造,而且提供各种解析设备,LCD制造和检查设备,芯片贴装设备等。在保障人民安全和健康的科学医疗领域,还提供各种解析、分析仪器及应用相关系统等*开发产品和相应的优质且完善的售后服务。此外,日立高新技术集团从中国各地向*提供支持电子、高科技、汽车产业、环境和节能技术的各种新功能材料的采购解决方案,通过灵活利用网络和其贸易公司功能,实现创造附加价值的事业模式。

  日立高新技术中国实业集团作为被大家所信赖的企业,在遵纪守法的同时,力争创造新的价值,以“客户*位为根本”开展工作,探求持续性发展,通过营销活动为中国的高科技产业、环境及能源事业、社会基础设施的安全、人民健康等方面的发展,不断地做着积极的贡献。衷心希望今后也能够继续得到大家的支持和厚爱。

详细信息

N-6000纳米探针检测系统 特点

  • 适用于90-65-45-(32)nm制造工艺。
  • 冷场发射电子枪,在较低加速电压条件下具有更好的分辨率。
  • 确保图像位移量为±100μm,无需移动样品台也可实现宽范围的检测。
  • 具备双马达台机构-探针马达台和样品马达台,操作简单舒适。
  • 的探针头交换仓,可顺畅而迅速地交换探针头。使操作舒适而直观。
  • 上面和侧面两个CCD摄像头,用于探针对中。
     

N-6000纳米探针检测系统 技术指标

项目

描述

探针单元

探针单元数量

6(zui多)

驱动方法

压电式

精调范围

5μm(X,Y轴)

粗调范围

5mm(X,Y轴)

探针头交换

气锁交换室

样品台
(DUT台)

位置检测

光学线性量规

样品尺寸

15mm x 15mm x 1mm 或更薄

行程范围

±7.5 mm(X, Y轴)

样品交换

气锁样品交换仓

探针镜台
(基础镜台)

行程范围

每个位置 ±5 mm

行程位置

检测/样品交换/探针大致对中齐/探针交换

电子光学系统

电子枪

冷场电子发射源

加速电压

0.5 kV - 5 kV(EBAC模式(*):zui大30 kV)

图像位移

±100μm 或更长(2 kV,WD=15 mm)

EBAC放大器(*)

电流放大器,差分放器

图像显示

扫描电子显微镜/ EBAC(*)(单一/平行/覆盖),上面和侧面CCD摄像头

真空系统

自动系统

显示器

液晶显示器


 

外形尺寸和重量

项目

(W)x(D)x(H)

重量

镜筒单元1,190 x 1,377 x 1,605mm780kg
显示单元1,000 x 960 x 1,200mm205kg
EBAC单元(*)600 x 1,000 x 1,760mm150kg

安装条件

项目

描述

室温15~25deg.
湿度60% RH(相对湿度)或更低
电源单相 AC100V±10%, 5kVA
接地D级(100ohm 或更小)


(*):选购件
 

可选购附件

  • 高分辨率修正
  • 样品加热台
  • 机械卡盘架
  • 单元计数功能
  • CAD导航系统(故障分析导航系统)

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