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微小器件特性评价装置nanoEBAC NE4000
高级会员第12年
生产厂家日立高新技术集团的企业理念是“以成为先端技术领域里提供高科技解决方案的*为目标”。在这个理念的指引下,将电子装置系统、生命科学系统、信息电子系统、*产业材料系统等各个事业部门的“先端技术”推向世界的Z前线。
为了应对日新月异的技术革新和需求的多样化,达成事业的化,日立高新技术集团同时具有用先端技术开发制造新产品的制造功能和向提供优化解决方案的贸易公司机能,是一家在先端科技领域里向*更快、更好地提供产品和服务的性企业。
日立高新技术集团Z重视的是在中国地区的事业战略。我们在上海、北京、深圳、香港设立了独资公司,这些地方分公司在中国的11个地区设有销售和技术服务网点。同时在苏州和大连还设有生产基地。日立高新技术集团不但支持中国电子产业和高科技产业发展的半导体制造,而且提供各种解析设备,LCD制造和检查设备,芯片贴装设备等。在保障人民安全和健康的科学医疗领域,还提供各种解析、分析仪器及应用相关系统等*开发产品和相应的优质且完善的售后服务。此外,日立高新技术集团从中国各地向*提供支持电子、高科技、汽车产业、环境和节能技术的各种新功能材料的采购解决方案,通过灵活利用网络和其贸易公司功能,实现创造附加价值的事业模式。
日立高新技术中国实业集团作为被大家所信赖的企业,在遵纪守法的同时,力争创造新的价值,以“客户*位为根本”开展工作,探求持续性发展,通过营销活动为中国的高科技产业、环境及能源事业、社会基础设施的安全、人民健康等方面的发展,不断地做着积极的贡献。衷心希望今后也能够继续得到大家的支持和厚爱。
电子束吸收电流表征技术提供了一种快速,有效地识别内部连接开路,高电阻以及短路的方法,无需低平层的直接探测技术。EBAC技术利用电子束穿过绝缘层,使低位的金属层吸收电子束电流。
通过场发射扫描电子显微镜的加速电压,控制电子束穿透电介质层的探测深度。单个探针放置于外露的上层金属薄膜上,形成闭合回路,以便电子流过连接线。使用两个探针和日立技术的差动电子束吸收电流表征放大器,可产生赛贝克效应,从而观察高电阻和短路情况。
采用彩色显示功能,对4层铝质连接线进行电子束吸收电流表征成像。
*电流放大器图像
探测装置 | |
装置编号 | 4 |
驱动方法 | 压电式 |
微动行程范围 | 5μm (X,Y) |
粗动行程范围 | 6mm (X,Y) |
样品台/基座台 | |
样品尺寸 | 25mm × 25mm × 1mm 厚或更薄 |
横向位置 | 测量/样品交换位置 |
样品交换 | 气锁交换室 |
探针导航 | 样品台平移探针定位 |
测量位置记忆 | |
探针粗调 | |
CCD图像显示 | 横向图像显示 |
电子光学 | |
电子枪 | 场发射电子源 |
加速电压 | 0.5kV to 30kV |
分辨率 | 15nm (2kV,工作距离为15mm) |
图像移动 | ±150μm (2kV,工作距离为15mm) |
电子束吸收电流放大器/图像显示 | |
放大器类型 | 电流放大器/差动放大器 |
图像显示 | SEM/EBAC(单一/并列/叠加) |
图像处理 | 黑白反转显示,彩色显示,亮度调节,积分慢扫描,层区扫描 |
主机 | 1,100(W)× 1,550(D)× 1,750(H)mm, 850kg |
显示装置 | 1,000(W)× 1,005(D)× 1,200(H)mm, 265kg |
室温 | 15至25 ºC |
湿度 | 相对湿度不高于60% |
电源 | AC100V±10% 5kVA (M5接线端子) |
接地电阻 | 不高于100Ω |