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英福康UL1000(fab)氦质谱检漏仪

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应用领域:化工,电子,综合
杭州太昊科技有限公司

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氦质谱检漏仪,冷媒检漏仪,真空计,膜厚控制仪,流量控制器,气体分析仪,真空泵及耗材,晶振片

      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商,专业销售INFICON旗下的真空产品及设备,同时致力于先进真空技术的推广和应用,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术支持。

      目前,公司所经营的产品主要有三大类: 一、膜厚控制/监测系统,产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等;二、气体检漏/分析系统,产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪(即残余气体分析仪)及其他类型检漏仪;三、真空监测/控制系统,产品主要包括:真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等;产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神,不断提升专业技能、完善运营细节,兢兢业业、勤勤恳恳,旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。

我们的理念是“完善自我,携手用户,精诚合作,共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任,以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标,期待更多新老朋友来电来函咨询业务,洽谈合作!







详细信息

英福康UL1000(fab)氦质谱检漏仪

INFICON(德国)UL1000 fab移动式氦检漏仪专门设计用于满足苛刻的工业检漏要求:具有耐用性强、测试灵活性好、灵敏度高、启动快,响应精准迅速,系统安可靠等特点。

UL1000 fab符合微电子工业生产的要求。从坚固的金属外壳到方便移动的滚轮 ,至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高灵敏漏率范围中长平衡时间 的运算法则,都无不显示了其*性。

系统软件包含带有故障查找指令的*自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护功能。英福康UL1000(fab)氦质谱检漏仪的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并解除氦污染。

UL1000 fab氦质谱检漏仪具有可转动的控制界面,装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。 通过更新软件,新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。

应用:

1、半导体工艺设备的维护,该设备本身带或未带有涡轮分子泵

2、工艺气体系统的检测与安装

3、元器件在组装前的漏率测试

4、要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合

 

优势所在:

1、具有*的ICAL本底稳定功能,提供在10-12毫巴 •升/ 秒范围内无比*的测量速度和稳定性。

2、可270度旋转的显示器,大而清楚的字体可远距离方便地观察读值。可以数显,模拟显和趋势显示三种显示方式。菜单式控制软件,易于使用。

3、高性能涡旋式干泵,抽速:25米3/小时@50Hz。

4、德国普发三级涡轮进气分子泵,抽速:>70升/秒,采用半磁悬浮轴承,即使90000转/分钟的转速也不会磨损轴承,高氦压缩比:比其他检漏仪高2-4倍。

5、两条镀钇的铱丝,当一只灯丝断了以后,能自动切换到另一只。UL1000*的结构设计使灯丝可耐大气冲击和污染。离子源保修3年。

6、UL1000采用全逆扩散检漏方式,即使是在精检和超精检模式依然采用逆扩散检漏方式。有效地减少对检漏仪质谱室的污染。UL1000的质谱室终生免维护。

7、采用毛细管式TL7校准漏孔,不受环境温度变化影响,因此不需要温度补偿。*的测试罐校准模式不仅校准仪器,也校准检漏罐,是精准的校准。

英福康公司在北京,上海和广州设有维修中心及备件仓库,可以提供24小时服务。工程师全部在德国总部接受过严格培训。国内的各维修中心存有备用氦检漏仪,可在紧急情况下提供给用户免费使用。 INFICON有专门维修代理,可提供日常技术支持及维修。

 

技术参数:

小可检漏率(按AVS2.1和EN1518标准) <5×10-12mbar.l/s
小可检漏率(吸入模式) <3×10-8mbar.l/s
入口压强粗检模式 15mbar
精检模式 2mbar
超精检模式 0.4mbar
抽泵抽速 16-25立方米/小时
氦气抽速(进气口处)粗检模式 8升/秒
精检模式 7升/秒
超精检模式 2.5升/秒
可检质量数 2、3、4amu,氢,3氦,氦
电源电压 110-120V;220-240V
重量 110公斤;242磅
尺寸,包括手把(长×宽×高) 1068×525×850毫米

 

 

 

 

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