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开尔文探针扫描系统-半导体表征
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )为多家国外高科技仪器厂家在中国地区的代理。科睿公司一贯秉承『诚信』、『品质』、『服务』、『创新』的企业文化,为广大中国用户提供仪器、设备,周到的技术、服务和*的整体解决方案。在科技日新月异、国力飞速发展的中国,纳米科学研究、薄膜材料(包括半导体)生长和表征、表面材料物性分析、生物药物开发、有机高分子合成等等领域,都需要与欧美发达国家*接轨的仪器设备平台来实现。科睿设备有限公司有幸成长在这个火热的年代,我们愿意化为一座桥梁,见证中国科技水平的提升,与中国科技共同飞速成长。
科睿设备有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)总部设在中国香港,在中国上海设立了分公司,在国内多个城市设立了办事处或维修站,旨在为客户提供*的产品和服务。2010年,科睿设备有限公司在上海设立备品仓库及维修中心,同时提供在大陆的各项技术服务和后期的维修保障服务,我们拥有专业的应用维修人员,并且都曾到国外厂家进行了专门的培训。上海配备了多种维修部件,能使我们的服务更加快捷和方便。我们承诺24小时电话响应,72小时内赶到现场维修。以利于更好、更快的为中国大陆服务!
因为信任,所以理解.我们理解用户的困难和需求。我们已经为国内众多科研院所和大学根据用户的要求配制和提供了上百套系统,主要用户包括:中科院物理所,中科院半导体所,中科院大连化学物理研究所,国家纳米中心,上海纳米中心,北京大学,清华大学,中国科技大学,南京大学,复旦大学,上海交通大学,华东理工大学,浙江大学,中山大学,西安交通大学,四川大学,中国工程物理研究院,香港大学,香港城市大学,香港中文大学,香港科技大学等。
开尔文探针扫描系统-半导体表征
我们的开尔文探针系统包括:
□ 单点开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);
□ 扫描开尔文探针(大气环境及气氛控制环境);
□ 超真空(UHV)开尔文探针;
□ 湿度控制的腐蚀开尔文探针;
开尔文探针扫描系统-半导体表征 配置
这是一款可以被大多数客户所接收的扫描开尔文探针系统,它是在ASKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置,其规格如下:
□ 2毫米,50微米探针;
□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖),5-10 meV(50微米针尖);
□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内;
□ 表面势和样品形貌3维地图;
□ 探针扫描或样品扫描选配;
□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置;
□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌);
□ 备用的针尖放大器;
□ 24个月超长质保期;
仪器的特色
□ 商用的*意义上的开尔文探针系统;
□ 高分辨率的功函数和表面势,的稳定性和数据重现性;
□ 非零技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作,与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比,不会收到噪声的影响拥有高灵敏度;
□ 高度调节技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受样品形貌的影响,针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移;
□ 该领域内,拥有的信噪比;
□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间,远快于其他公司产品;
□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器,与通常的压电驱动器相比,VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作;
□ 所有开尔文探针参数的全数字控制;
ON | 非零探测 Off Null detection |
HR | 高度调节模式 Height Regulation mode |
SM | 实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
UC | 用户通道,同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
DC | 电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects |
PP | 平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
SA | 信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
WA | 功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
DC | 所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
QT | 针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
DE | 数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
OC | 输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
FC | 法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
RS | 金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample |
额外选配项 | |
SPV | 表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
RH | 相对湿度腔 Relative Humidity Chamber |
AC | 控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
EDS | 外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope |
OPT | 彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
ST | 针尖置换 Replacement Tips |
GCT | 镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips |
XYZ | 25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
应用领域
吸附,电池系统,生物学和生物技术,催化作用,电荷分析,涂层,腐蚀,沉积,偶极层形成,显示技术,教育,光/热散发,费米级扫描,燃料电池,离子化,MEMs,金属,微电子,纳米技术,Oleds,相转变,感光染色,光伏谱学,高分子半导体,焦热电,半导体,传感器,皮肤,太阳能电池,表面污染,表面化学,表面光伏,表面势,表面物理,薄膜,真空研究,功函数工程学;