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等离子清洗机- PCE-80

型号
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息



技术参数

输入电源

  • AC 220V , 50/60 Hz, 
  • zui大射频功率: 100 W 
  • 真空泵功率: < 500W
  • 总功率: < 600W

射频功率

  • 射频功率可在 0 - 100W之间调节
  • 射频:   13,56 MHz
  • 可以与本公司工作人员采用300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验

等离子腔体

  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体
  • 铝制折叠式法兰来进行真空密封
  • 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

控制面板

  • 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.
  • 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

真空泵

  • 仪器中包括一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。
  • 极限真空度为50mTorr



  •  
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通入气体

等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, AirH2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

可选

  • 可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片
  • 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

质保期

一年质保期,终生维护

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