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可自动扫描等离子表面处理仪--GSL1100XPJF-A

型号
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

     GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

 

技术参数

输入电源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

RF发生器

  • 输出频率:20-23kHz , 25KV
  • 等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm

输入气体气压,工作气体

  • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
  • Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

等离子体工作压力

7- 10 PSI

工作环境

温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH

样品台和控制柜

  • 配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制
  • 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
  • 控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序。
  • zui大扫描范围:8" x 9"
  • 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品。
  • 配有一真空泵,可与真空吸盘相连接
  • 整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm
  • 可选:可选加热样品台(zui高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。
      

尺寸&重量

  • 处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
  • 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
  • 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
  • 重量:55kg
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质保&质量认证

一年质保期,终生维护

CE认证

 

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