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6等离子清洗机--PDC-001

型号
中美合资合肥科晶材料技术有限公司

高级会员10年 

生产厂家

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真空管式炉,高温箱式炉,高速震动球磨机,RTP快速退火炉,高温高压炉,涂覆机,电池制备设备等
  合肥科晶材料技术有限公司成立于1997年,是由一群来自麻省理工学院和加州大学伯克利分校的材料研究人员创办的美国MTI公司与中科院合肥物质科学研究院合资兴办的高新技术企业。主要生产氧化物晶体(A--Z)和材料实验室成套设备:包括“混料-压料-烧料”(混料机、压片机、箱式炉、真空管式炉)以及“定向-切割-研磨-抛光”(X射线定向仪、低速外圆锯、金刚石线切割机、自动研磨、抛光机)。公司自主研发生产上百款不同规格尺寸、温度、高温高压及快速升温等产品,其中包括:箱式炉、气氛炉、管式炉、井式炉、RTP快速升温炉、高温高压炉、镀膜机、清洗剂及新能源锂离子电池研发等相关实验室设备。现已成为氧化物晶体(A--Z)的主要制造商和材料研究实验室设备的*,为科研工作者提供材料研究解决方案。产品设计*、性能优异,质量可靠,性价比高,环保节能、返修率低,远销到欧洲,美国,日本,德国等许多国家,广泛应用于物理、化学、冶金、医学、新能源材料研发等领域,受到客户*好评。
 
  科晶公司秉承"以人为本、技术为导、诚信为基、积极创新"的经营理念,全力打造材料研发设备的品牌,竭力为科学进步和社会发展做出贡献。
 

详细信息

      PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机,其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗,同时可以向腔体通入不同的气体(如氧气和惰性气体等),从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理,此款设备极为理想。

 

 技术参数

输入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

输出频率

 13.56 MHz

功率

  • 低档716V DC 10 mA DC 7.2 W 
  • 中档720V DC 15 mA DC 10.5W 
  • 高档740V DC 40 mA DC 30 W 

等离子腔体 

尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔体

真空泵和阀

  • 仪器中包括有一双极旋片泵,2XZ-2,抽气速率为2L/s, 
  • 泵上安装有一个不锈钢针阀,其接口为宝塔嘴接头

通入的气体 

腔体中可以通入多种气体,如N2, Ar, Air ,也可以通入多种混合气体,以满足实验需要 ,不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中

可选配件

  • 如果基片的直径为2"4",可以选购石英架,每个石英架上可以放25片
  • 数字式真空显示计,可以精确显示石英腔体内的真空度

可选真空计

(点击图片查看详细资料)

  • 可选本公司生产研发的电阻真空计
  • 此款真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现的热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。
      

外型尺寸

11" H x 18" W x 9" D 

细节图

 

操作视频

 等离子清洗机(点击查看)

质保期

一年质保  不包括石英腔体和密封圈

质量认证

  CE Certified

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