- 面议
参考价：
起订量：
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机
该企业相似产品
ALD，PECVD，RIE，磁控溅射，热蒸镀，电子束，离子束，晶圆清洗机，PA-MOCVD，飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）
那诺中国有限公司专注于为大中华区域（包括中国大陆、香港、澳门和中国台湾）的高校、科研院所、企业研发与生产等企业机构提供高性能、高性价比、定制化的薄膜工艺加工设备及科学分析检测仪器。
那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备（包含磁控溅射、热蒸镀、电子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、离子束、DRIE、晶圆兆声清洗机等）。
那诺中国提供英国KORE基于飞行时间的质谱仪，包含飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）、质子转移反应（PTR）质谱仪、电子轰击电离（EI）质谱仪等。
详细信息
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点：
- 不锈钢，铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
- 70，250或500 l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵
- 13.56MHz，300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源
- 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 带观察视窗的腔门易于上下载片
- 基于LabView软件的PC计算机全自动控制
- 带密码保护功能的多级访问控制
- *的安全联锁
选配项：
- 向上、向下或侧面溅射
- RF、DC以及脉冲DC溅射
- 共溅射、反应溅射
- 组合溅射
- RF或DC偏压（1000V）
- 样品台可加热到700°C
- 膜厚监测仪
- 基片的RF射频等离子清洗
- 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片
应用：
- 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆
- 光学以及ITO涂覆
- 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆
- 带RF射频等离子放电的反应溅射
型号：
- NSC-4000：基于PC计算机全自动控制的独立式系统
- NSC-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立式系统
- NSC-3000：PC计算机全自动控制的台式系统
- NSC-1000：半自动控制的台式系统
(以下为双系统型号)
- NSR-4000：溅射/RIE系统
- NSP-4000：溅射/PECVD系统
- NST-4000：溅射/热蒸发系统
