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CP-4 化学机械抛光设备
- 型号
- CP-4
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亿诚恒达科技有限公司，在北京和香港两地注册。北京公司位于北京海淀中关村核心区域，是一家专门代理营销进口科学仪器、测试测量设备的高科技企业，所经营的产品涵盖材料科学、化学分析、绿色能源、半导体及微电子科学等领域。公司本着“诚信、务实、品质、服务”的经营理念，已经为国内许多用户提供了*的仪器设备，专业的技术咨询和完善的售后服务。
公司主要代理产品有：*材料试验机，疲劳试验机，冲击试验机，电化学工作站，恒电位/恒电流仪，石英晶体微天平，三维形貌仪，轮廓仪，原子力显微镜（AFM），扫描探针显微镜（SPM），摩擦磨损试验机，瓶盖扭矩测量仪，轴承扭矩测量仪，高频疲劳试验机。
亿诚恒达科技有限公司愿与客户携手，共创美好未来！
详细信息
CP-4化学机械抛光设备
CP-4是*的台式化学机械抛光设备（CMP），可以很好的满足您的研发需求。*软件控制，可以对直径4英寸的晶圆和磁盘进行抛光。 CETR-CP-4可检测原位摩擦力，摩擦系数，温度，下压力，磨损，声发射等，可以模拟所有的参数，如速度，负载和流量，来模仿一个大的CMP系统。
的研究和开发的各个方面
• 测试和开发各种不同的微粒，材料，浓度，氧化剂，抑制剂等的抛光液
• 测试和开发不同的材料，沟槽形状，尺寸，弹性，寿命等
• 测试和发展抛光垫调节装置来优化抛光垫的损耗率，修整，效率等
• 开发CMP定位环材料来优化摩擦，磨损，寿命等
• 测试去除率，重复性缺陷，工艺优化等，研究或开发各种应用的各种材料
• 半导体方面 - 铜，Ta, TaN, Al, Si, SiO, Ru, WC, solar cells, PVD, CVD, 薄膜等
• 化合物半导体 - 砷化镓，铟，磷化物，汞，镉
• 应用生物材料 - 牙，骨，钛，钢铁制品等。
• 光电材料 – LED，蓝宝石，红外窗口抛光激光材料，显微镜头，微光学，铌酸锂，钽酸锂，磷酸氧钛钾等。
同时实时监测及处理
• 通过在晶圆垫和调节垫界面处的拥有的传感器，测量负载和摩擦力，
• 通过在晶圆垫和调节垫界面处的拥有的传感器和放大器，测量接触噪声
• 使用声波表征的缺陷、划痕，并在加工过程中分层
• 监测流入的抛光液，抛光片表面和流出废液的温度 .
