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CTS AP-200 CMP化学机械抛光机
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代理商亿诚恒达科技有限公司,在北京和香港两地注册。北京公司位于北京海淀中关村核心区域,是一家专门代理营销进口科学仪器、测试测量设备的高科技企业,所经营的产品涵盖材料科学、化学分析、绿色能源、半导体及微电子科学等领域。公司本着“诚信、务实、品质、服务”的经营理念,已经为国内许多用户提供了*的仪器设备,专业的技术咨询和完善的售后服务。
公司主要代理产品有:*材料试验机,疲劳试验机,冲击试验机,电化学工作站,恒电位/恒电流仪,石英晶体微天平,三维形貌仪,轮廓仪,原子力显微镜(AFM),扫描探针显微镜(SPM),摩擦磨损试验机,瓶盖扭矩测量仪,轴承扭矩测量仪,高频疲劳试验机。
亿诚恒达科技有限公司愿与客户携手,共创美好未来!
主要技术参数:
- 抛光平台转速:0-200 rpm
- 抛光头载体转速:0-200 rpm
- 整理器转速:0-150 rpm
- 抛光液流速:20-500 cc/min
- 整理器下压力:2- 20 lbs
2. 工艺数据可实时监测;
3.多种抛光液 & 高压去离子水系统
- 内置两个共给抛光液的泵单元
- 抛光液材质:氧化物,钨,铜,二氧化铈等
- 流量:20?500cc / min
- 双排喷嘴排列布置,具有高压清洁效果
- 通过各种不同喷嘴角度,更干净的清洗抛光垫
应用领域:
- ILD(层间电介质)CMP,IMD(金属间电介质)CMP,氧化物CMP,多晶硅CMP,钨CMP,铜CMP
- 半导体CMP 工序(Semiconductor CMP)
- MEMS CMP
- 高校及科研院所高品质科研测试(University, Lab _High Quality Performance Test)
- 晶片研磨代工企业(Wafer Polishing Service)
- CMP耗材研发企业(CMP Consumable Parts),CMP抛光液,金刚石研磨垫整理器,CMP研磨垫
售后服务
免费上门安装:是
保修期:1年
是否可延长保修期:是
保内维修承诺:设备保修期内不收取零部件及其它费用,实行保修服务。并提供设备终身售后服务
报修承诺:接到用户通知后,2小时内做出响应,24小时内给出明确解决方案
免费仪器保养:用户使用半年后,将安排一次应用培训以使用户达到熟练使用设备程度
免费培训:3人次现场培训
现场技术咨询:有