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AL120-12晶圆搬送机半导体显微镜
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西努光学创建于2003 年，主营工业显微镜及制样设备、镜片测定设备，高速摄像系统、工业内窥镜、机器视觉等工业及科研应用的检测设备及系统集成。
西努光学秉承“以光学为核心，为客户提供解决方案”的经验思路，经过16年的努力，成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统，通过系统资源整合，为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
2016 年，我们积极引进检测设备的同时导入制样等配套设备以丰富我们实验室平台，以更好的为客户提供现场体验，从微米到纳米满足客户从制样到结果分析的一站式体验服务。
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详细信息
AL120-12晶圆搬送机半导体显微镜详细介绍：
AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP（装载口）和FOSB，适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时（包括薄晶圆和变形晶圆）的效率和安全。
人机工程学设计，操作方便
•可以自由设置的检查模式，在设计上考虑了后道工程中的操作性，尤为重视设备的操作简便性。
•分别对应FOUP(Load Port）和FOSB的两种机型。 坚固、可靠和安全传送
•延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性，能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
•薄片，Warped晶圆皆能安全搬送。
•宏观观察位置的*化和操作单元的集中排列，提高了设备的操作舒适性。
AL120-12晶圆搬送机半导体显微镜宏观照明装置
 宏观照明装置 | 为异物、伤痕、膜斑、散焦的发现提供了理想的照明方式 高亮度金属卤化物光源与光纤照明的组合，实现了300 mm晶圆的冷光源全面照射。 |
| 自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格 | ||
| AL120-LMB12-LP | AL120-LMB12-F | |
| 晶圆尺寸 | 300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可选：200 mm | |
| 卡盒 | ●FOUP（Front Opening Unified Pods）前开门标准夹 ●SEMI：E47.1-0200规格产品 ●FIMS-FOSB, FOSB | ●FOSB（Front Opening Shipping Box）前开门搬运盒 ●SEMI：M31-0999规格产品 |
| 卡盒数 | 单盒（装载、卸载兼用） | |
| 卡盒设置高度 | 900 mm | |
| 装载端口 | 有 | 无 |
| 搬运顺序 | 表面宏、内面宏、显微镜检查 | |
| 检查模式 | 全部检查、抽样检查 | |
| 晶圆校准 | 非接触式中心环 | |
| 晶圆搬运方式 | 真空吸附机械搬运 | |
| 适用显微镜 | 半导体检查显微镜MX61L | |
| 应用环境 | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa 压缩空气0.5MPa～0.6MPa | AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa |
| 载物台 | XY手动吸附载物台，有XY粗调／微调和360度旋转机构 | |
| 重量（不包括显微镜） | 约360 kg | 约270 kg |
