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MX61A大尺寸智能型全自动显微镜
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西努光学秉承“以光学为核心,为客户提供解决方案”的经验思路,经过16年的努力,成为众多企业、高校科研单位提供各种专业化的光学系统解决方案。并于2012 年导入SAP 管理系统,通过系统资源整合,为客户提供更优质、快捷的专业化服务。
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MX61A大尺寸智能型全自动显微镜详细介绍:
始终提供*观察影像的光学系统
强大的缺陷检查能力
采用了新颖的光学系统(UIS2),特别增强了明视场、暗视场的性能,从而提高了辨别和确认缺陷的能力。明视场图像的色温*化,实现了容易误检的中性颜色的再现,暗视场图像的亮度约提高了四倍(与本公司原有产品比较)。
观察影像实例
明视场观察 | 新暗视场观察 | 传统的暗视场观察 |
自动调节*亮度
亮度光圈调节示意图 | 物镜选择和观察方法切换连动,自动地调节亮度光圈。提高了观察速度并减轻疲劳。 |
对应各种设备的实时AF
深紫外线观察用物镜 | MX61A装载了在对焦精度、对焦速度上性能*的动态AF。新开发的多点方式的传感器的采用,大幅度的提高了对焦时的稳定性。在可视、深紫外线的反射光观察中,实现了追踪观察位置的实时对焦。 |
对应多种观察方法
物镜UIS2系列产品 | 在深紫外线到可视、近红外线观察中发挥高性能的UIS2物镜系列产品,与各种观察单元组合,可以在一台显微镜上进行明视场、暗视场、微分干涉、荧光、近红外线、深紫外线等观察。 观察方法的切换非常简单,只要从明视场、暗视场、选件镜子单元三个位置选择就可以。 |
观察影像实例
明视场观察 | 暗视场观察 | 微分干涉观察 |
荧光观察 | 近红外线观察(左)和可见 光线观察(右)的比较 |
提供扩展性的解决方案 提供扩展性的解决方案
适应分析需求的Analysis-Engine(分 析引擎)模块 | MX61A大尺寸智能型全自动显微镜"显微镜控制软件"作为核心对MX61A系统全体进行控制。这个应用灵活的软件不仅能控制显微镜,还能控制数码照相机、电动载物台等外围设备。一直以来,必需进行若干个操作才能实现的高级观察方法、深紫外线观察等的切换,只要一次点击就能顺利完成。该软件进一步拓展了MX61A的扩张性,满足了不断变化的分析需求。 |
显微镜控制软件 MX2-BSW
显微镜控制软件显示画面 | 显微镜控制软件MX2-BSW不仅能进行各种显微镜控制和AF,还能综合控制深紫外线观察单元和电动载物台*1等。对于数码照相机*2,能够控制它的观察和记录。观看实况影像时单击需观察的地方,快速移动到视场中心、实况计量和检测、影像记录等一系列作业就能容易的得以实现。 *1对应本公司*的电动载物台 *2对应奥林巴斯DP21或本公司*的IEEE1394数码照相机 |
实现对人和环境都没有危害的自动化
符合SEMI S2/S8标准
符合SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)S2-0706(有关安全的基准),S8-0705(有关人体工程学的基准)和CE标识(欧洲强制性认证)等的标准。符合人体工程学和安全对策等,高水准的确保了可靠性。
可选的倾斜观察筒
倾斜观察筒示意图 | 备有2种能以舒适姿势观察的倾斜镜筒。可以根据用途选择双目部倾斜角度由水平0°到42°的、变化范围大的MX-SWETTR型号,或是目视和拍摄影像可同时观察的U-SWETTR-5型号。 |
洁净对应的电动物镜转换器
洁净对应的电动物镜转换器 | 备有两种坚固耐用的洁净型电动物镜转换器。 6孔和5孔中心补正型号的明暗视场电动物镜转换器,采用了新型马达,实现了高速安静的倍率转换。 |
高抗振本体
高倍率观察图像示意图 | 采用了不易受振动影响的高度刚性仪器机架。即便是高倍率观察,也不会出现影像模糊的情况。 |
可以触摸屏操作的手控开关
手控开关操作部 | 配备了触摸屏操作的手控开关,可以在检查时执行选择物镜和观察方法等多种操作。只要选择观察方法,就能得到基于登录条件的zui合适的观察影像。自动对焦的追踪、单次拍摄的切换、对焦的细微调节、DIC延迟调节、亮度调节和交换样本时的载物台退出均可以执行。 |
帮助实现多种观察的附件 晶圆搬送机组合
晶圆搬送机 | 可以对应直径200 mm及以下的晶圆。新型搬送手臂的采用,实现了对90 μm极薄晶圆的搬送,能满足多种尺寸晶圆搬送的需求。 |
自动载物台组合
自动载物台 | 备有对应300mm/200mm晶圆的高精度电动载物台。通过PC控制,可以实现高级检查、不良分析功能。 |
规格 | |||
光学系统 | UIS2光学系统(无限远校正) | ||
机身 | 观察方法 | 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 | |
反射/透射 | 反射 | ||
照明装置 | 机身一体型(明视场、暗视场+1选件) | ||
照明系统 | 反射照明 | 100 W卤素/100 W水银/75 W氙 | |
透射照明 | - | ||
对焦单元 | 电动/手动 | 电动 | |
行程 | 25.4 mm | ||
分辨率/微调灵敏度 | 分辨率0.01 μm | ||
zui大样本高度 | 24 mm | ||
物镜转换器 | 电动型 | 明视场微分干涉6孔 | |
明暗视场微分干涉5孔 | |||
明暗视场微分干涉6孔 | |||
明暗视场微分干涉中心补正5孔 | |||
手动式 | - | ||
载物台 | 行程 | 14×12英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm 8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm | |
观察筒 | 广角视场(视场数22) | 倒置 | - |
正像 | - | ||
超宽视场(视场数26.5) | 倒置 | - | |
正像 | 倾斜三目观察筒 | ||
附件单元 | 自动调焦/IR单元/电动载物台/自动装载 | ||
外形尺寸 | 711(W)×853(D)×552(H)mm(标准组合) | ||
重量 | 56 kg(标准组合) |