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UVISEL 2 VUV UVISEL 2 VUV真空紫外椭偏仪
- 型号
- UVISEL 2 VUV
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HORIBA欧洲总部
HORIBA 科学仪器事业部（HORIBA Scientific）隶属 HORIBA 集团，致力于为用户提供先进的检测和分析仪器：包括元素分析、荧光、刑侦、ICP、粒度表征、激光拉曼光谱、椭圆偏振光谱、油中硫分析、水质和XRF等分析仪器。
结合旗下的技术优势，包括拥有200多年发展历史的光谱制造技术Jobin Yvon,以及拥有*技术优势的IBH, SPEX, Instruments S.A, ISA, Dilor, Sofie, SLM以及 Beta Scientific等。今天，HORIBA Scientific 的各种检测分析仪器已经遍布各地，并在中国实现了销售和服务的本土化，位于上海、北京、广州三地的产品专家、售后服务团队以及全国各地的代理商机构可充分保障国内用户的技术咨询以及售后服务需求。
详细信息
真空紫外椭偏仪专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高度准确性；*的超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。
真空紫外椭偏仪产品特点
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50KHz 高频PEM 相位调制技术
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45 秒内完成充氮气
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2 分钟内完成样品室抽真空
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8 分钟内完成光谱全谱范围内测量
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两种工作模式：氮气清洗结合抽
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真空、连续氮气清洗
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光谱范围：147nm~850nm；147nm~2100nm
重点应用领域
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超薄膜
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157nm 光刻新材料
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有机材料、高分子材料
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高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
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抗反射涂层
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半导体和介电材料电子跃迁
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MgF2、CaF2、LaF3
