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Dymek岱美仪器 全光谱椭圆偏光测厚仪SE950
- 型号
- Dymek岱美仪器
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岱美仪器技术服务（上海）有限公司（Dymek Company Ltd ，下面简称岱美）成立于1989年，是一间拥有多年经验的高科技设备分销商，主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港，中国大陆（上海、东莞、北京），中国台湾，泰国，菲律宾，马来西亚，越南及新加坡等地区。
岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品：
晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。
岱美重要合作伙伴包括有：
Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,
n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...
如有需要，请联系我们，了解我们如何开始与您之间的合作，实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。
详细信息
优势：
1、微光斑功能： 标准配置微光斑 光斑尺寸80x120微米。特殊光学设计与研磨级高精度Z轴搭配可自动移除透明衬底背面反射.对焦过程中可自动判定膜层的对焦位置，并通过光学狭缝克服透明衬底背后反射
2、采用讯号自动对焦，量测讯号与对焦讯号为同一讯号 有效避免量测的位置误差。
3、检偏器自动追踪：大幅提升椭偏仪量测精度,特别有利于极薄膜层的材料分析以及ψ与Δ之精度
4、电动自动可调变衰减片：可自动或手动调整不同样品讯号饱和程度(100%~0.1%)，并可分段设置UV讯号与可见光讯号强度以便获取最佳量测讯号
5、软件自动分析拟合：提供膜厚 折射率预分析功能，未知材料的数据库比对能力,软件自动分析简化操作,克服椭偏仪一向由专业人士操作带来的量测困难。
6、远程遥控：突破椭偏仪需到场服务与培训之限制,大幅提升售后服务之效率
7、高质量DUV光谱仪： 光谱范围220nm-1100nm,（可选配至1700nm)分辨率<1nm 自带半导体制冷,高动态比，讯噪比尽可能的减小噪声影响
8、自动生成2D或3D Mapping 图谱并自动数据分析，光谱自动保存，数据可汇总及上传
9、以recipe设置 测试时间大幅缩短至1-3秒，提高测试效率。
10、设计上 采用抗紫外钝化光纤双光纤结构，先进的断开功能,大幅提升光谱稳定性和长期使用的可靠性。
11、高稳定性 标准片 膜厚重复性精度<0.5A,折射率重复精度<0.0005
12、膜厚测试范围1nm-20微米 可针对透明或不透明衬底测试
13、免费建模
规格：
光学原理：
光波从接触到光学组件表面，到离开光学组件表面的短暂时间里，其偏极状态（polarization state)一定会改变。椭圆偏光仪，既是一种用来量测光波穿透光学组件，或从光学组件表面反射前后偏极状态改变情形的仪器。由于此种偏极状态的改变是光波与光学组件材料产生交互作用的结果，因此可由偏极状态的改变情形，反推得到光学组件表面的物理特性。这里所谓的光学组件表面有可能是光学组件的表面，也有可能是单层膜或多层膜的堆栈，也可能是光学组件表面的污染层。
光藉由非零度入射角至样品表面而反射, 因为样品的厚度及对光的反应（吸收或透明…）而产生极化状态的改变（产生相位及振幅的改变），此量测方式我们称为椭圆仪量测。量测时对于每个波长,我们得到两个独立的参数Ψ and △
