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CS200D 数字式气体质量流量控制器
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生产厂家北京华丞电子有限公司(以下简称“华丞电子”)是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业,华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿,集聚了多项先进零部件技术核心人才,致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。
华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势,技术积和创新能力。产品迭代升级的同时,华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究,深挖技术,创新产品,拓宽产品线,形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品,为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在新的征程上,北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴,共同开创电子科技领域的新篇章,为构建智慧社会贡献我们的力量。
CS200D数字式气体质量流量控制器,采用*传感器和温度补偿技术,因此产品精度可以达到设定值1%以内,并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时,产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内,CS200C产品*快可在800ms以内达到设定流量,响应时间将使用过程中产生的系统误差小化,所需流量更加精准。
优势
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
CS200D数字式气体质量流量控制器技术参数
CS200 | ||||||
型号 | CS200-A | CS200-C | CS200-D | |||
阀类型 | 常开(流量规格 ≤ 30SLM) | 无 | 常开或常闭 | 无 | 常开或常闭 | 无 |
流量规格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||
响应时间 | ≤ 1sec | ≤ 0.8sec | ||||
工作压差范围 | 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa | 0.05~0.35MPa | <0.02 MPa |
大工作压力 | 0.45MPa | |||||
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S./℃; | 零点: ≤±0.02% F.S./℃; | ||||
耐压强度 | 3MPa | |||||
漏率 | 1×10-10 Pa·m3 / sec He | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | ||||
密封材料 | 氟橡胶 | 金属密封 | ||||
工作环境温度 | (5~45)℃ | (0~50)℃ | ||||
输入信号 | 数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | 无 | 数字: RS485 | 无 | 数字: RS485 | 无 |
输出信号 | 数字::RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus | |||||
零漂 | 在没有零点校正时<0.6%F.S./年 | |||||
电源 | ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极) | |||||
表面化学成分 | 常态 | Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 (埃) | 常态 | |||
表面粗糙度 | 25 Ra | 10 Ra | 25 Ra | |||
标准接头形式 | 双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3; | 双卡套φ3;双卡套φ6;双卡套 1/4;VCR1/4 阳接头; | ||||
电源接头形式 | D 型 9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头 | |||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg |