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CS100 数字气体质量流量控制器

型号
CS100
参数
产地类别:国产 产品种类:质量式 价格区间:面议 介质分类:气体 应用领域:综合
北京华丞电子有限公司

高级会员8年 

生产厂家

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气体质量流量计、数字气体流量计、氨气流量控制器、氧气流量计、质量流量控制器

北京华丞电子有限公司(以下简称“华丞电子”)是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业,华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿,集聚了多项先进零部件技术核心人才,致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。


 华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势,技术积和创新能力。产品迭代升级的同时,华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究,深挖技术,创新产品,拓宽产品线,形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品,为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

  在新的征程上,北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴,共同开创电子科技领域的新篇章,为构建智慧社会贡献我们的力量。




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详细信息

CS100数字气体质量流量控制器是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发,在拥有恒功率传感器技术,数字传感器平衡技术,VCP线控制技术的基础上,采用客户定制化设计,客户可根据需要选用符合自身需求的产品,同时其*创的客户零点补唯功能(CGC),能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题,使产品更好的适应客户环境。

优势

• CS100产品采用客户定制化设计,
• 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;
• 金属密封或橡胶密封;
• 产品尺寸可选用符合通用的SEMI标准的产品,也可选用紧缩型产品。

CS100数字气体质量流量控制器技术参数:

CS100

型号

CS100A

CS100D

阀类型

常闭

常闭

流量规格(N2)

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0~10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.); ±0.35% F.S.(<35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa ; 10<流量规格≤30SLM
0.25~0.45MPa ; 30<流量规格≤50SLM

<0.02 MPa

 

0.05~0.35MPa; 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa;10<流量规格≤30SLM

<0.02 MPa

温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃;   调节时: ≤±0.1% F.S/℃

耐压

3MPa

10MPa

3MPa

10MPa

漏率

1×10-9 Pa·m3 / sec He(1×10-8 atm·cc / sec He)

密封材料

氟橡胶

金属密封

大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

(5~45)℃

输入信号

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

输出信号

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

模拟:          (0~5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

模拟:
(0~5)VDC

数字: RS485

电源接头形式

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

O型3针
阳接头

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针阳接头;

O型3针阳接头

D型15针阳接头

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

O型3针
阳接头

D型15针
阳接头

D型9针
阳接头;

D型15针
阳接头

D型9针阳接头;

O型3针阳接头

D型15针阳接头

供电电源

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

±15V

±15V

+24V

自动清零

支持

表面粗糙度

25μinch Ra

标准接头形式

双卡套 φ6; 双卡套φ3;双卡套1/4´´;双卡套1/8´´;

VCR1/4´´阳接头;

φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头

VCR1/4″阳接头

重量

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg

 

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产品参数

产地类别 国产
产品种类 质量式
价格区间 面议
介质分类 气体
应用领域 综合
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