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起订量：
CS100 数字气体质量流量控制器
- 型号
- CS100
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北京华丞电子有限公司（以下简称“华丞电子”）是由北京七星华创流量计有限公司、北京七星华创集成电路装备有限公司及北方华创微电子装备有限公司射频业务单元整合而成的工业领域核心零部件及解决方案科技企业，华丞电子立足于集成电路、新能源等工业领域的科技前沿，集聚了多项先进零部件技术核心人才，致力于成为一家全面的工业零部件解决方案供应商。
华丞电子传承了数十年在流量测控、射频技术和自动化设备等领域的专业优势，技术积和创新能力。产品迭代升级的同时，华丞电子依据客户新的产品需求不断探索研究，深挖技术，创新产品，拓宽产品线，形成了流量测控、压力测控、气路系统、射频电源、匹配器、磁流体密封装置、传输系统、自动化装备等系列产品，为半导体、光伏、燃料电池、真空镀膜等领域提供解决方案。华丞电子布局六大研发/生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。
在新的征程上，北京华丞电子有限公司将携手所有合作伙伴，共同开创电子科技领域的新篇章，为构建智慧社会贡献我们的力量。
详细信息
CS100数字气体质量流量控制器是基于七星流量计CS系列产品技术平台开发，在拥有恒功率传感器技术，数字传感器平衡技术，VCP线控制技术的基础上，采用客户定制化设计，客户可根据需要选用符合自身需求的产品，同时其*创的客户零点补唯功能(CGC)，能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题，使产品更好的适应客户环境。
优势
• CS100产品采用客户定制化设计，
• 客户可根据需要选用±15V双电源或+24单电源供电;
• 金属密封或橡胶密封;
• 产品尺寸可选用符合通用的SEMI标准的产品，也可选用紧缩型产品。
CS100数字气体质量流量控制器技术参数：
CS100 | ||||||||||||||
型号 | CS100A | CS100D | ||||||||||||
阀类型 | 常闭 | 无 | 常闭 | 无 | ||||||||||
流量规格(N2) | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||||||||
准确度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||||||
线性 | ±0.5% F.S. | |||||||||||||
重复精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||||||
响应时间 | ≤ 1sec | |||||||||||||
工作压差范围 | 0.05～0.35MPa； 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa； 流量规格≤10SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||||
温度系数 | 零点: ≤±0.05% F.S/℃； 调节时: ≤±0.1% F.S/℃ | |||||||||||||
耐压 | 3MPa | 10MPa | 3MPa | 10MPa | ||||||||||
漏率 | 1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He） | |||||||||||||
密封材料 | 氟橡胶 | 金属密封 | ||||||||||||
大工作压力 | 0.45MPa | |||||||||||||
工作环境温度 | （5～45）℃ | |||||||||||||
输入信号 | 模拟: | 数字: RS485 | 无 | 无 | 模拟: | 数字: RS485 | 无 | 无 | ||||||
输出信号 | 模拟: | 数字: RS485 | 模拟: (0～5)VDC | 数字: RS485 | 模拟: | 数字: RS485 | 模拟: | 数字: RS485 | ||||||
电源接头形式 | D型9针 D型15针 | D型9针 O型3针 | D型15针 | D型9针 D型15针 | D型9针阳接头； O型3针阳接头 | D型15针阳接头 | D型9针 D型15针 | D型9针 O型3针 | D型15针 | D型9针 D型15针 | D型9针阳接头； O型3针阳接头 | D型15针阳接头 | ||
供电电源 | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ||
自动清零 | 支持 | |||||||||||||
表面粗糙度 | 25μinch Ra | |||||||||||||
标准接头形式 | 双卡套 φ6； 双卡套φ3；双卡套1/4´´；双卡套1/8´´； VCR1/4´´阳接头； φ6(内)x1软管接头;φ5(内)x1.5软管接头;φ4(内)x1软管接头 | VCR1/4″阳接头 | ||||||||||||
重量 | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg | ||||||||||
