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Leica EM ACE600 徕卡高真空镀膜仪-Leica EM ACE600
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徕卡高真空镀膜仪-Leica EM ACE600概述 | ||
Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪,真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵,无油真空系统,真空度可达2x10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器,可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制,自动完成抽真空、镀膜、放气等全过程,一键操作。采用当下zui流行的触摸屏控制,简单方便。仪器可选离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FESEM)需求,可选碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜,还可以选择电子束蒸发方式镀膜,获得极其细腻的金属膜与碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。 | ||
徕卡高真空镀膜仪-Leica EM ACE600性能 | ||
• *重现的结果:运行全自动化过程,辅以参数和协议设置。集成的石英测量和 自动化3轴载物台移动 • 小巧紧凑:设计紧凑,占地面积小节省了实验室空间 • 容易清洗:可拆卸的门、卷帘、内部屏蔽、来源和载物台,确保制备高品质样本 的环境清洁 • 操作简便:直观的触摸屏,松推配合的连接器和免工具的目标变更,舒适的前门 锁定 • 自定义配置:可满足不同的具体需求 • 低温镀膜:真空低温传输系统适应将室温镀膜机转换成低温镀膜机。样本能在低 温下于受保护的环境中进行镀膜和传输 | ||
技术参数 | ||
可任选离子溅射模式,碳丝蒸发镀碳模式,碳棒(热阻)蒸发模式, 电子束蒸发模式,双溅射模式,溅射-碳丝模式,溅射-碳棒模式,溅 射-电子束模式,双电子束模式,可兼容EM VCT100冷冻传输系统, 可选辉光放电(用于网格表面亲水化) | ||
设计脉冲式碳丝蒸发方式,可精确控制碳膜厚度 | ||
内置石英膜厚检测器,精确控制镀膜厚度,精度达0.1nm | ||
全自动程序控制,自动完成抽真空、镀膜、放气等过程 | ||
触摸屏控制,简单方便 | ||
采用隔膜泵+涡轮分子泵,无油真空系统,真空度≤2x10-6mbar | ||
溅射电流:0-150mA可调 | ||
方形样品仓设计,样品仓尺寸:200mm(宽)x150mm(深)x195mm(高) | ||
样品台内置旋转,工作距离调节范围:30-100mm |