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S8000G S8000G超分辨双束扫描电镜
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经销商北京桔灯地球物理勘探股份有限公司(Beijing Orangelamp Geophysical Exploration Co.,Ltd)成立于2004年,是一家致力于地球物理自主研发、自媒体服务、勘探服务、销售代理及售后支持为一体的*。 桔灯产品涵盖固体矿产勘查、海洋勘查、石油勘探、实验室研究、低空物探及测绘、地质调查、环保等多个技术领域。
特点
集成多项创新性设计,拓展新应用领域的利器
S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的*成员,集成了BrightBeam™ SEM镜筒、Orage™ GaFIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计,在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内*水平,此外新一代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。
创新的电子光学镜筒,使电镜拥有更加出色的超高分辨率
S8000G配置了的BrightBeam™镜筒,实现了无磁场超高分辨成像,可以zui大化的实现各种分析,包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率,特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。
另外,EquiPower™透镜技术可有效减少能量损耗并保证电子镜筒的稳定性。
配备的多种探测器,更好的表面灵敏度和对比度
S8000G系统可配置的多种探测器,包括透镜内 Axial detector 以及 Multidetector,可选择不同角度和不同能量来收集信号,信息种类更多,同时获得更好的表面灵敏度和对比度。
新一代 Orage™ Ga FIB镜筒,适用于各类具有挑战性的纳米加工任务
S8000G离子能量zui低可达500eV,拥有更优秀的低压样品制备能力,可以快速制备无损超薄TEM样品
创新的Orage™ Ga FIB镜筒配有*的离子光学系统和设计的OptiGIS™气体注入系统,使得TESCAN S8000G成为了世界*的样品制备和纳米图形成型的仪器。S8000G束流可达100nA,具有超快速的加工能力,新颖的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。
技术参数
电子光学系统
电子枪 | 高亮度肖特基场发射电子枪 |
电子光学镜筒 | Bright Beam™ 电子光学镜筒 |
分辨率 |
|
高真空模式 | 0.9nm@15kV |
1.4nm@1kV(电子束减速模式) | |
1.6nm@200V(电子束减速模式) | |
低真空模式 | STEM(透射模式):0.9nm@30kV |
BSE(背散射):2.0nm@30kV | |
LVSTD(低真空二次电子探测器):1.5nm@30kV | |
放大倍数 | 1~2,000,000倍 |
zui大视野 | 7mm@WD=6mm(分析距离) |
加速电压 | 50V~30kV |
探针电流 | ~400nA |
离子光学系统
离子镜筒 | Orage™高分辨 Ga +FIB镜筒 |
分辨率 | < 2.5 nm @ 30 kV (工作距离为SEM-FIB 交叉点) |
放大倍率 | zui小150倍 @交叉点,加速电压 10 kV (对应视野为1mm),zui大1,000,000 x |
加速电压 | 0.5 kV ~ 30 kV |
探针电流 | < 1 pA ~ 100 nA |
SEM-FIB交叉点 | SEM (WD = 6 mm) – FIB (WD = 12 mm) |
SEM-FIB 夹角 | 55° |
气体注入系统 | 5针多气体注入系统 (选配) 单针多气体注入系统 (选配) |
探测器、样品室和样品台
探测器(标配) | Multidetector (In-Beam) Axial detector (In-Beam) E-T detector (In-Chamber) Retractable BSE (In-Chamber) |
样品室 | 内部尺寸: 340 mm (宽) × 315 mm (深) × 320 mm (高 ); 接口数量: 20个;内置主动减震 |
样品台 | 电脑控制的全自动样品台 X/Y = 130 mm, Z = 90 mm R = 360°, T = -60°~ +90° |