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S8000G S8000G超分辨双束扫描电镜

型号
S8000G

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北京桔灯地球物理勘探股份有限公司(Beijing Orangelamp Geophysical Exploration Co.,Ltd)成立于2004年,是一家致力于地球物理自主研发、自媒体服务、勘探服务、销售代理及售后支持为一体的*。 桔灯产品涵盖固体矿产勘查、海洋勘查、石油勘探、实验室研究、低空物探及测绘、地质调查、环保等多个技术领域。

详细信息

特点

  • 低电压高分辨观测能力——新一代镜筒内电子加速、减速技术,
  • 磁性样品高分辨成像及分析——静电-电磁复合物镜,物镜无磁场外泄
  • 4个新一代探测器,可实现9种图像观测,对样品信息的采集更加全面
  • 大型样品室,超过20个扩展接口(为原位观测、分析创造了良好的工作环境)
  • 兼容多种分析软件,并*实现与TOF-SIMSRaman联用
  • 简化操作——新一代操作软件,FIB镜筒实现全自动的离子镜筒对准功能

集成多项创新性设计,拓展新应用领域的利器

S8000GTESCAN新一代FIB-SEM的*成员,集成了BrightBeam SEM镜筒Orage GaFIB镜筒OptiGIS气体注入系统等多项创新设计,在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内*水平,此外新一代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。

 

创新的电子光学镜筒,使电镜拥有更加出色的超高分辨率

S8000G配置了的BrightBeam™镜筒,实现了无磁场超高分辨成像,可以zui大化的实现各种分析,包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率,特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。

另外,EquiPower™透镜技术可有效减少能量损耗并保证电子镜筒的稳定性。

 

配备的多种探测器,更好的表面灵敏度和对比度

S8000G系统可配置的多种探测器,包括透镜内 Axial detector 以及 Multidetector,可选择不同角度和不同能量来收集信号,信息种类更多,同时获得更好的表面灵敏度和对比度。

新一代 Orage Ga FIB镜筒,适用于各类具有挑战性的纳米加工任务

S8000G离子能量zui低可达500eV,拥有更优秀的低压样品制备能力,可以快速制备无损超薄TEM样品

创新的Orage Ga FIB镜筒配有*的离子光学系统和设计的OptiGIS™气体注入系统,使得TESCAN S8000G成为了世界*的样品制备和纳米图形成型的仪器。S8000G束流可达100nA,具有超快速的加工能力,新颖的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。

 

技术参数

电子光学系统

电子枪

高亮度肖特基场发射电子枪

电子光学镜筒

Bright Beam 电子光学镜筒

分辨率

 

高真空模式

0.9nm@15kV

1.4nm@1kV(电子束减速模式)

1.6nm@200V(电子束减速模式)

低真空模式

STEM(透射模式):0.9nm@30kV

BSE(背散射):2.0nm@30kV

LVSTD(低真空二次电子探测器):1.5nm@30kV

放大倍数

1~2,000,000

zui大视野

7mm@WD=6mm(分析距离)

加速电压

50V~30kV

探针电流

~400nA

离子光学系统

离子镜筒

Orage™高分辨 Ga +FIB镜筒

分辨率

< 2.5 nm @ 30 kV (工作距离为SEM-FIB 交叉点)

放大倍率

zui小150 @交叉点,加速电压 10 kV (对应视野为1mm),zui大1,000,000 x

加速电压

0.5 kV ~ 30 kV

探针电流

< 1 pA ~ 100 nA

SEM-FIB交叉点

SEM (WD = 6 mm) – FIB (WD = 12 mm)

SEM-FIB 夹角

55°

气体注入系统

5针多气体注入系统 (选配)

单针多气体注入系统 (选配)

探测器、样品室和样品台

探测器(标配)

Multidetector (In-Beam)

Axial detector (In-Beam)

E-T detector (In-Chamber)

Retractable BSE (In-Chamber)

样品室

内部尺寸: 340 mm () × 315 mm () × 320 mm ( )

接口数量: 20个;内置主动减震

样品台

电脑控制的全自动样品台

X/Y = 130 mm, Z = 90 mm

R = 360°, T = -60°~ +90°

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