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KW-4T 匀胶机 涂胶机
- 型号
- KW-4T
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山东桑泽仪器仪表有限公司自成立以来，致力于为客户提供Z完善的解决方案和优质的售后服务。我公司拥有高素质的企业团队，具有丰富的仪器和技术服务经验，经过不断的发展，在实验仪器方面，我公司取得了优异的成绩。
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详细信息
KW-4T匀胶机 涂胶机用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO 导电玻璃 等工艺，制版的表面涂覆，具有转速稳定和启动迅速等优点，保证涂胶厚度的 一致性和均匀性。
技术参数及要求：
基片尺寸：Φ5-Φ100mm 圆片，最大 100×100mm2方片
转速：250-9000RPM
旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定性：<±1%
旋涂均匀性：<1%
旋涂工艺阶段：6 段
旋涂时间：单步工艺 0-1800s，可根据客户需求调节
整机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×248mm
裸机尺寸（长宽高）：210mm×280mm×155mm
电机功率：40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料
KW-4T匀胶机 涂胶机配套无油真空泵参数：
型号：KW-550A/KW-550T
抽速：1.5 升/秒
抽气速率：>60L/min
功率：320W
噪音：50db
真空度：-700mmHg
重量：7.3Kg
尺寸(长宽高)：240mm×160mm×230mm
