等离子清洗机 (Plasma Cleaner)

产地：美国 HARRICK PLASMA

型号：PDC-32G-2, PDC-002

仪器简介：

等离子表面处理机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子表面处理机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被*地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。

等离子表面处理机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能。等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

仪器应用：

1. 高分子材料表面修饰。

2. 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

3. 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

4. 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

5. 清洗半导体元件、印刷线路板。

6. 清洗生物芯片、微流控芯片。

7. 清洗沉积凝胶的基片。

8. 清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

9. 牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

10. 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

主要特点：

1. 紧凑台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。

2. 功率为低、中、高三档可调。

3. 基本型：

清洗腔：长6.5英寸，直径3英寸,腔盖可拆卸；

RF线圈大施加功率18W；

1/8NPT针孔阀控制气流及腔体压力；

整机尺寸：8.5英寸H × 10英寸W × 8英寸D；

重量：13 lbs；

4. 选配件

石英等离子清洗腔；

真空检测计；

气体流量混合器；

石英样品托盘；

真空泵；

应用案例 1

    图为：两种工艺气体混合等离子清洗

    图上：气体流量混合器

            均匀混合两种工艺气体浓度，根  

            据工艺气体流量的大小同时实时

           检测清洗腔体真空度的浓度

    图下：PDC-32G-2等离子清洗机

应用

      等离子清洗机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能。等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。等离子清洗器广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

参考客户：

       兰州大学  郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学  清华大学医工所  兰州化物所 中科院纳米所 香港科技大学等等

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