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SE+SR-XYZ Auto Stage全光谱椭偏仪
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椭偏仪,反射仪,光谱仪
致东光电科技(上海)有限公司是中国台湾里华科技在上海的子公司,自2006年成立至今,秉着以客户为导向的企业经营理念,由专业的测试仪器代理商快速发展成为集研发、生产、销售、服务为一体的高精度测试仪器供应商。
致东光电奉行“以人为本”的理念，延揽经验丰富、资质优良、充满活力的人才，与客户的需求紧密结合，为其提供*而可靠的加值型服务。“客户的满意是我们的目标”，致东光电遵循“高机动性、高效率、高行动力”的三大方针，目前我们的客户已经遍及整个IC、TFT-LCD、LED及Solar cell等学术及工业相关领域，并广泛得到客户的认同和喜爱。
详细信息
SE+SR-XYZ Auto Stage全光谱椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种吸引力的测量仪器。SE+SR-XYZ Auto Stage全光谱椭偏仪反演问题的方法就是在衰减分析中，应用Levenberg-Marquardt算法。利用比较方程，将实验所得到的数据和模型生成的数据比较。通常，定义均方误差为：
在有些情况下，小的MSE可能产生非物理结果。但是加入符合物理定律的限制或判断后，还是可以得到很好的结果。衰减分析已经在椭偏仪分析中收到成功的应用，结果是可信的、符合物理定律的、精确可靠。
