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二手iH600 iH1000 英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
- 型号
- iH600 iH1000
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昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。
本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、性价比高及周到的售后服务等广受市场好评，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。
公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、中国台湾凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油；
产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、医药、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。
售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及先进的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。
公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨，不断创新改进，完善售后服务网络。我们以*秀的产品，*的质量，*惠的价格，*质的服务，愿同各界朋友互相合作，开拓美好的未来。
详细信息
英国爱德华EDWARDS晶圆半导体iH600干式真空泵维修
概述
Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
应用
- 负载锁
- 输送
- 计量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 预清洁
- RTA
- 剥离/灰化
- 刻蚀
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
功能和优势
- 优化了设施消耗。
- 无需预防性维护。
- 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
- 在节省电机功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
- 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
- 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
- 整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。英国爱德华晶圆半导体iH600干式真空泵维修
技术数据
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 极限真空 | 7 x 10-4 mbar |
| 5.3 x 10-4 Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型轴封氮流量 | 4 slm |
| 进气口连接 | ISO100 |
| 出口连接 | NW40 |
| 15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 极限功率输入 | 3.4 kW |
| 电机额定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
所有数字均为无气镇时的典型值。
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