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嵌入式膜厚仪FE-5000
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大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价?检查。
详细信息
嵌入式膜厚仪FE-5000在高精度薄膜分析的光谱椭偏仪之上，增加安装了测量角度可自动变化装置,可对应所有种类的薄膜。嵌入式膜厚仪FE-5000在传统旋转分析仪法之上，通过安装相位差板自动分离装置，提高了测量精度。
特点
可在紫外和可见（250至800nm）波长区域中测量椭圆参数
可分析纳米级多层薄膜的厚度
可以通过超过400ch的多通道光谱快速测量Ellipso光谱
通过可变反射角测量，可详细分析薄膜
通过创建光学常数数据库和追加菜单注册功能，增强操作便利性
通过层膜贴合分析的光学常数测量可控制膜厚度/膜质量
测量项目
测量椭圆参数（TANψ，COSΔ）
光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析
薄膜厚度分析
