NX-B100/B200多功能整片基板纳米压印系统经过了大量的实时实地验证,质量可 靠,性能优越稳定。具备全部压印模式:热固化、紫外固化和压印。基于独 特保护的Nanonex气垫软压技术(ACP),不论模版或基板背面粗糙程 度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形结构,NX-B100/B200均可对其校 正补偿从而获得的压印均匀性, ACP消除了基板与模版之间侧向偏 移,有效地延长了模版使用寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周 期,zui终得到快速的工艺循环。

NX-B100/B200多功能整片基板纳米压印系统

主要特点：

所有形式的纳米压印

热塑化

紫外固化 (NX-B200)

热压与紫外压印同时进行(NX-B200)

热固化 

气垫软压技术(ACP)

Nanonex技术

*的整片基板纳米压印均匀性

高通量

低于10nm分辨率 

快速工艺循环时间(小于60秒) 

灵活性

大75毫米直径压印面积

各种尺寸及不规则形状模板与基板均可压印

方便用户操作

基于超过12年、15代产品开发 经验的自动化压印操作

Nanonex压印系统经过大量实时实地验证,质量可靠,性能优越稳定

全自动纳米压印