- 面议
参考价：
起订量：
GL6 R&D 纳米压印系统
- 型号
- GL6 R&D
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
一、产品介绍：
1. 兼容基底尺寸：直径≤100mm
2. 支持基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
3. 纳米压印技术：旋涂胶基底高精度压印&点胶自动找平压印、旋涂胶基底压印、点胶自动找平压印模式
4. 压印精度：优于10nm
5. 结构深宽比：优于10：1
6. 残余层控制：可小于10nm 微米级TTV控制精度
7. 紫外固化光源：紫外LED（365nm）面光源，光强>300mW/cm2
8. 自动压印/自动脱模/自动工作模具复制/主动找平压印/模自动点胶：支持
9. 模具基底对位系统：手动对位（选配）
10. 上下片方式：手动上下片
二、技术优势：
随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构、微透镜阵列、匀光片结构等工艺流程，帮助客户零门槛达到国际纳米压印水平。
