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DX 多功能X射线衍射/反射仪
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生产厂家公司自成立以来就一直专注于半导体、微组装和电子装配等领域的设备集成和技术服务;目前公司拥有一支在半导体制造、微组装及电子装配等领域经验丰富的专业技术团队,专业服务于混合电路、光电模块、MEMS、先进封装(TSV、Fan-out等)、化合物半导体、微波器件、功率器件、红外探测、声波器件、集成电路、分立器件、微纳等领域。我们不仅能为客户提供整套性能可靠的设备,还能根据客户的实际生产需求制订可行的工艺技术方案。
目前亚科电子已与众多微电子封装和半导体制造设备企业建立了良好的合作关系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),为向客户提供先进的设备和专业的技术服务打下了坚实基础。
Jordan Valley公司zui新设计的Delta-X是多功能的X射线衍射设备,可灵活应用于材料科学研究、工艺开发、与生产质量控制。Delta-X衍射仪的光源台和探测台的光学元件可以全自动化调控,并采用水平式样品台。Delta-X衍射仪可以在常规衍射模式、高分辨率衍射模式、X射线反射模式之间灵活切换。光学配置的切换*在菜单式程序控制下由计算机完成,无需手动操作。自动化切换和准直不需要专门人员和操作设备,并确保每次切换都能达到zui佳的光学准直状态。
常规的样品测量可以通过Delta-X衍射仪,实现部分、乃至*的自动化运行,自动化测量程序可以依客户需求进行专门定制。也可采用*的手动模式操作Delta-X衍射仪,以便发展新测量方法,研究新材料体系。
数据分析或拟合可以作为测量程序的一部分,可实现*自动化,也可依据需要单独进行数据分析。 依半导体生产线的需求,将RADS和REFS拟合软件以自动化模式运行,允许在没有用户干扰的情况下自动完成常规性的数据分析,并直接完成数据拟合和结果输出。RADS和REFS也可以单独安装,以便进行更详细的数据分析。
Delta-X 衍射仪的主要特点和优势
Delta-X衍射仪的入射束包括多种标准的光学配置模式,以便使光学配置具有充分的灵活性,且易于操作。可以依据测量样品的材料类型,选择参考晶体。
Delta-X衍射仪的欧拉(Eulerian )环支架设计允许放置单个或多个晶片或样品,并提供多个转动轴的大范围、高再现性的精确移动控制。
Delta-X衍射仪支持全晶片测量,无边缘测量失真的现象。
Delta-X衍射仪可选配高温台,并用于各种测试技术。
探测台
探测系统具有显著提高响应特性等多方面的特点:
提供一维(1D)线探测器可供选择,能实现束线信号的同步平行采集,能显著提高XRD的测量速度。特别适用于小束斑条件下的XRD测量、和快速HRXRD倒易空间map测量。