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P-170 P-170 探针式轮廓仪

型号
P-170
参数
产地类别:进口 产品种类:非接触式轮廓仪/粗糙度仪 价格区间:面议 应用领域:食品,化工,石油,交通
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详细信息

P-170 探针式轮廓仪
 
发布时间: 2019-04-19   |  浏览[ 227 ]次  
 
 
 

产品描述

P-170cassette-to-cassette探针式轮廓仪,将行业的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP®-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了极低的拥有成本,适用于半导体,化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D3D测量,其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台,因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能,程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法,可以支持2D3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

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P-170 探针式轮廓仪

主要功能

·        台阶高度:几纳米至1000μm

·        微力恒力控制:0.0350mg

·        样品全直径扫描,无需图像拼接

·        视频:500万像素高分辨率彩色摄像机

·        圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件:简单易用的软件界面

·        生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

·        晶圆机械传送臂:自动加载75mm200mm不透明(例如硅)和透明(例如蓝宝石)样品

 

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产品参数

产地类别 进口
产品种类 非接触式轮廓仪/粗糙度仪
价格区间 面议
应用领域 食品,化工,石油,交通
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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