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Zeta-388 光学轮廓仪
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亿诚恒达科技有限公司，在北京和香港两地注册。北京公司位于北京海淀中关村核心区域，是一家专门代理营销进口科学仪器、测试测量设备的高科技企业，所经营的产品涵盖材料科学、化学分析、绿色能源、半导体及微电子科学等领域。公司本着“诚信、务实、品质、服务”的经营理念，已经为国内许多用户提供了*的仪器设备，专业的技术咨询和完善的售后服务。
公司主要代理产品有：*材料试验机，疲劳试验机，冲击试验机，电化学工作站，恒电位/恒电流仪，石英晶体微天平，三维形貌仪，轮廓仪，原子力显微镜（AFM），扫描探针显微镜（SPM），摩擦磨损试验机，瓶盖扭矩测量仪，轴承扭矩测量仪，高频疲劳试验机。
亿诚恒达科技有限公司愿与客户携手，共创美好未来！
详细信息
Zeta-388 光学轮廓仪
Zeta-388的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot™测量模式可同时收集高分辨率3D扫描和True Color无限远焦距图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射计都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-388也是一款显微镜，可用于样品检查或自动缺陷检测。Zeta-388通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，以及晶圆盒到晶圆盒的晶圆传送，适用于研发及生产环境。
主要功能
· 采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用
· 可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
· ZDot：同时采集高分辨率3D数据和True Color（真彩）无限远焦点图像
· ZXI：白光干涉测量技术，适用于z向分辨率高的广域测量
· ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
· ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
· ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
· AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化
· 生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量
· 晶圆传送机械臂: 自动加载直径为50mm至200mm的不透明（如硅）和透明（如蓝宝石）样品
Zeta-388 光学轮廓仪
主要应用
· 台阶高度：纳米到毫米级别的3D台阶高度
· 纹理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波纹度
· 外形：3D翘曲和形状
· 应力：2D薄膜应力
· 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度
· 缺陷检测：捕获大于1μm的缺陷
· 缺陷复检：采用KLARF文件作为导航以测量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置
