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KW-4T 中科院微电子台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机
- 型号
- KW-4T
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北京通世华港设备有限公司成立于2014年，位于美丽的朝阳区东五环，公司主要经营国内外的的设备和仪器仪表，主要产品有电子天平、离心机、移液器及耗材、搅拌仪器、蠕动泵、分光光度计、显微镜、阿贝折射仪、折光仪、糖酸一体机、干燥箱、电阻炉、匀胶机、真空泵、超声波清洗器、超声波细胞破碎仪、旋转蒸发器、超净工作台，生物安全柜及实验室耗材，是一家实验室集成式供应商。代理合作主要品牌有：日本ATAGO爱拓，日本奥林巴斯、日本柯尼卡美能达、瑞士梅特勒、瑞士普利赛斯、德国赛多利斯、德国普兰德、德国eppendorf艾本德、德国IKA、德国莱卡、美国奥豪斯，国内品牌有北京大龙、北京六一、北京中惠普、中科院微电子研究所、上海元析、上海尤尼柯、上海卢湘仪、上海昕瑞、上海司乐、上海一恒、上海博迅、上海雷磁、上海仪电物光、湖南湘仪、昆山舒美、常州幸运、常州国华、常熟双杰等。010-64912672！
详细信息
中国科学院微电子研究所 KW-4A型台式匀胶机/旋涂仪/涂胶机
产品简介
我研究室生产的KW-4A、KW-4T型匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。
技术参数及要求：
基片尺寸： Φ 5 Φ 100mm 圆片，*大 100 × 100mm 2 方片
转速： 25 0 9 000RPM
旋涂设置：任意阶段之间均可任意升降调节
转速稳定性： 1%
旋涂均匀性： 1
旋涂工艺阶段： 6 段
旋涂时间：单步工艺 0 180 0s 可根据 客户需求 调节
整机尺寸（ 长宽高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
裸机尺寸 长宽高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
电机功率： 40W
适应材料：硅片、玻璃、石英、金属、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各种材料
配套 无油真空泵参数：
型号： K W 550A/KW 550T
抽速： 1 .5 升 秒
功率： 3 20W
噪音： 50db
*低真空度： 700mmHg
重量： 7.3 Kg
尺寸 长宽高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽气速率： ：>60L/min
