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KW-5 中科院微电子研究所KW-5型匀胶机/旋涂仪
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代理商北京通世华港设备有限公司成立于2014年,位于美丽的朝阳区东五环,公司主要经营国内外的的设备和仪器仪表,主要产品有电子天平、离心机、移液器及耗材、搅拌仪器、蠕动泵、分光光度计、显微镜、阿贝折射仪、折光仪、糖酸一体机、干燥箱、电阻炉、匀胶机、真空泵、超声波清洗器、超声波细胞破碎仪、旋转蒸发器、超净工作台,生物安全柜及实验室耗材,是一家实验室集成式供应商。代理合作主要品牌有:日本ATAGO爱拓,日本奥林巴斯、日本柯尼卡美能达、瑞士梅特勒、瑞士普利赛斯、德国赛多利斯、德国普兰德、德国eppendorf艾本德、德国IKA、德国莱卡、美国奥豪斯,国内品牌有北京大龙、北京六一、北京中惠普、中科院微电子研究所、上海元析、上海尤尼柯、上海卢湘仪、上海昕瑞、上海司乐、上海一恒、上海博迅、上海雷磁、上海仪电物光、湖南湘仪、昆山舒美、常州幸运、常州国华、常熟双杰等。010-64912672!
中国科学院微电子研究所生产的KW-4A/KW-5型匀胶机适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点,并能保证半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配真空泵一起使用。目前的型号有KW-4A型和KW-5型。
技术参数及要求:变频调速
基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
转速:500-5000 转/分
转速稳定性:±1%
旋涂均匀性:±5%
旋涂工艺阶段:2 段
旋涂时间:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
整机尺寸(长宽高):425 mm×500 mm×300 mm
裸机尺寸(长宽高):425mm×500mm×190mm
电机功率:180W
适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料