LaB6发射源

VEGA3 -- 钨灯丝扫描电镜能提供介于肖特基与钨灯丝性能之间的LaB6（六硼化镧）作为电子发射源。LaB6的优势包括：稳定的电子发射源（与场发射电子源相比），在阴极较低温度下可获取比较高的束流（与钨灯丝电子源相比）。这就意味着在整个范围的加速电压和很长的使用寿命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率。基于其非常高的发射电流，LaB6是需要大电子束流应用领域的正确选择。

现代电子光路

• *的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式
• 以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"
• 透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应
• 结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束
• 镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构
• 3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

VEGA3 -- 钨灯丝扫描电镜只要很短的停机检查后就能保持电镜长时间处于较佳状态。每个细节设计得很仔细，使得仪器的效率较大化，操作简化。

VEGA3 GM

VEGA3 GM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝(选配LaB6)扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 XM

VEGA3 XM是一款由计算机控制，可在高低真空模式下工作的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 LM

VEGA3 LM是一款由计算机控制，可在高真空和低真空模式下工作全自动化钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台的操作软件提供了简易的电镜操作方式和完整的图像采集功能，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和许多其它自动操作。

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款扫描电子显微镜（SEM）与X-射线能谱仪（EDS）的一体化系统，其具有图像质量高，自动化程度高，操作简单，能实时快速进行元素分析等特点。另外，可变真空模式下，用户可以在自然状态下观测不导电样品。

VEGA3 SB

VEGA3 SB是一款*由计算机控制的全自动钨灯丝扫描电子显微镜，具有突出的光学性能，清晰的数字化图像，成熟的操作软件，用户界面友好等特征。基于Windows™平台，VEGA系列的操作系统配置了包括中文在内的多语种扫描电镜操作界面（使用核心汉化操作软件的扫描电镜），获取图片后可以用常见的标准格式存储图像，强化了图片归档、图像处理和测量、电镜自动化及其他的一些自动功能。