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HR系列 ulvacHR系列爱发科真空泵维修检漏仪维修
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苏州希文控制科技有限公司坐落于苏州工业新加坡工业园区，专注于各种类型真空泵配套，真空泵维修及真空泵配件耗材制造销售。主要的真空泵维修品牌有：英国Edwards爱德华真空泵维修，德国Pfeiffer普发真空泵维修，德国Leybold莱宝真空泵维修，美国Agilent安捷伦真空泵维修，日本岩田真空泵维修，法国ALCATEL真空泵维修，日本爱发科ULVAC真空泵维修,瑞士VAT阀门等进口真空泵维修，真空泵油及其配件耗材等。公司自成立以来以快速的反映能力，过硬的质量，优质的服务，性价比高*。
详细信息
干式真空泵
LR / HR / UR系列
ulvacHR系列爱发科真空泵维修检漏仪维修
干式真空泵LR / HR / UR系列通过使用我们*的高温浸泡技术有效地利用压缩热，从而在CVD和蚀刻等坚硬工艺中实现了高耐久性。在轻型过程中，与ECO-SHOCK结合使用，可以将功耗降低约80％。所有型号均兼容CE（可选），以提高可维护性并降低噪音。有关ECO-SHOCK的更多信息，请参阅“相关信息”。
特色功能
- LR系列：
除在低温范围内浸泡惰性气体外，还适用于需要缩短排气时间（特别是为了提高产量）的充放电室中的排气。 - HR系列/ UR系列：高温下
通过CVD 浸泡，蚀刻等产生的可升华排气物质可以气态排放 - 1000毫秒内瞬间停电的对策
- CE兼容（可选）
使用方法
- 活性气体（CVD，干法蚀刻等）
- 惰性气体排放（溅射，沉积，热处理等）
- 减少装卸室的排气时间（LR系列）
- 产生粉末的过程中的排气（拉单晶硅等）
- 作为辅助排气泵（涡轮分子泵的辅助排气，机械增压泵）
规格书
| 类型名称 | LR / HR 60 | LR / HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR / HR 300 | LR / HR 600 | UR 600 | LR / HR 1200 | UR 1200 | ||
| 二手泵 | DRP | LR / HR 60 | LR / HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR / HR 60 | LR / HR 90 | UR 90 | LR / HR 90 | UR 90 | |
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| 大抽速 | m 3 /小时 | 50赫兹 | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60赫兹 | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| 升/分钟 | 50赫兹 | 1030 | 1860年 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60赫兹 | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| 极限压力 | 帕 | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| 大排气压力（吸气压力） | 大气压* | ||||||||||||
| 大出口压力（排出压力） | 1Pa至大气压 | ||||||||||||
| 入口（CE规格） | VG50 （KF40） | VG80（KF50） | VG100 | VG80（KF80） | VG100（KF100） | ||||||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| 干泵表面处理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| 机械增压泵表面处理 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | ○* | ○* | ○ | ○* | ○ | ||
| 弥撒 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| 电力 | 三相 | 交流电 （Hz） | 200（50/60），220（60） | 180-240 / 380-440（50/60） | 200（50/60），220（60） | ||||||||
| 现值 | 常规的 | 一 | 6.9 / 7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0 / 7.8 | 12.3 / 12.9 | 16.4 | 13.7 / 15.4 | 18.9 | |
| 大值 | 一 | 7.0 / 7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6 / 8.1 | 19.0 / 13.8 | 17.3 | 24.2 / 18.9 | 22.4 | ||
| 冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1至0.3 | 0.2至0.5 | 0.1至0.3 | |||||||||
| 冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | > 0.1 | > 0.2 | > 0.1 | |||||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | > 5.0 | > 4.0 | > 5.0 | > 5.0 | ||||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1-0.5 | ||||||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05-0.1 | |||||||||||
| N 2吹扫 | 轴数 | SLM | 5 | ||||||||||
| 加斯伯勒 | SLM | 0-45 | 无* 1 | 0-45 | 0-195 | 0-45 | |||||||
*订购时请注明工作电压。
*请勿在吸入压力为200Pa或更高的压力下连续操作HR300，HR / UR600和HR / UR1200。泵温度可能会异常，并且互锁装置可能会运行。
*对于LR300，LR600，LR1200，UR600，UR1200，UR1800，UR3601-TT的MBP，可以选择是否进行表面处理。
* JIS法兰是进气口的标准配置。符合CE的NW类型。
* 1可以根据应用估算可以使用气体玫瑰的规格。
| 类型名称 | LR1800 | UR1800 | LR3601 | LR3601-TT | LR3601-R | LR3601-TR（TTR） | UR3601-TT | |||
| 二手泵 | DRP | LR180 | UR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | UR421-T | ||
| MBP | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C（-T） | PRC-036D | PRC-036D（DT） | PRC-036C-T | ||||
| 大抽速 | m 3 /小时 | 50赫兹 | 1701 | 1701 | 3200 | 2700 | ||||
| 60赫兹 | 1784年 | |||||||||
| 升/分钟 | 50赫兹 | 28350 | 28350 | 53333 | 45000 | |||||
| 60赫兹 | 29700 | |||||||||
| 极限压力 | 帕 | 0.67 | ||||||||
| 大排气压力（吸气压力） | 大气压* | |||||||||
| 大出口压力（排出压力） | 1Pa至大气压 | |||||||||
| 进口* | VG150（KF100） | VG150 | ||||||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| 干泵表面处理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
| 机械增压泵表面处理 | ○* | ○ | × | T：×TT：○ | × | TR：×TTR：○ | ○ | |||
| 弥撒 | 公斤 | 553 | 660 | 720 | 660 | 720 | 720 | |||
| 电力 | 三相 | 交流电（Hz） | 200（50/60），220（60） | 180-240 / 380-440（50/60） | ||||||
| 现值 | 常规的 | 一 | 21.4 | 29.2 | 31 | 35.4 | 39.8 | |||
| 大值 | 一 | 39.8 | 34.9 | 58.4 | 82 | 68.3 | ||||
| 冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1至0.3 | 0.2至0.5 | |||||||
| 冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | > 0.1 | > 0.2 | |||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | > 5.0 | > 4.0 | > 5.0 | ||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1-0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05-0.1 | ||||||||
| N 2吹扫 | 轴数 | SLM | 5 | |||||||
| 加斯伯勒 | SLM | 0-45 | 0-195 | 无* 1 | 0-45 | 无* 1 | 0-45 | 0-195 | ||
*订购时请注明工作电压。
*请勿在吸入压力为200Pa或更高的压力下连续操作HR300，HR / UR600和HR / UR1200。泵温度可能会异常，并且互锁装置可能会运行。
*对于LR300，LR600，LR1200，UR600，UR1200，UR1800，UR3601-TT的MBP，可以选择是否进行表面处理。
* JIS法兰是进气口的标准配置。符合CE的NW类型。
* 1可以根据应用估算可以使用气体玫瑰的规格。
■消音器（可选）
| 型号 | 材质 | 表面处理 | 重量（公斤） | 连接法兰 |
| RS-01 | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | 抛光板 | 12.5 | NW50 |
■型号兼容性表
| 套件名称 | 适用机型 | 夹钳 | 外圈 | 连接管道 | 留下来 |
| RS-01套件A | LR60，LR90，LR300 | 1个 | 1个 | -- | -- |
| RS-01套件B | LR600，LR1200 | 两个 | 两个 | 1个 | 1个 |
| RS-02套件A | LR180（LR60，LR90，LR300） | 两个 | 两个 | 1个 | 1个 |
| RS-02套件B | LR1800（LR600，LR1200） | 两个 | 两个 | 1个 | 1个 |
| RS-03套件A | LR421（-T） | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 |
| RS-03套件B | LR3601（-T / TT / R / TR / TTR） | 三 | 三 | 1个 | 1个 |
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