UL3000FAB INFICON英福康氦质谱检漏仪
杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
INFICON英福康氦质谱检漏仪专门为半导体应用中的检漏需求而设计。
它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、快速和精确的测试结果以及可靠性。
l 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间。
l 由于低维护的根部粗加工泵，总拥有成本（TCO）更低。
l 由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，更早地开始检漏，使得快速达到敏感测量范围成为可能
l UL3000 Fab ULTRA还通过使用成熟的吸污管线SL3000提供了改进的吸污能力，该吸污管线长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。
快速的结果
改进后的真空系统带有低维护的真空泵，可以从大气压开始检测泄漏。坚固的质谱仪系统确保了长时间的运行和低维护成本。
可旋转的显示器和可远程控制的用户接口
新的触摸屏显示，即使在远距离也能显示测试结果和状态信息。通过用户指导的菜单结构，即使是没有经验的操作员也能轻松操作。通过智能手机或平板电脑可以对UL3000 Fab（ULTRA）进行无线控制--无需特殊软件或Apps。通过按钮记录和存储测试结果，可以传输到其他存储介质，以便进一步分析。
纤细的设计，先进的可操作性
低重心、大轮子、符合人体工程学设计的手柄和纤细的外壳使UL3000 Fab (ULTRA)即使在狭小的空间也有良好的移动性。
优势
l 采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
l 使用I-ZERO 2.0进行有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
l 适用于真空和嗅探检漏
l 通过快速排空和响应时间，最大限度地减少检漏工作
l 纤细的设计，易于操作，节省时间
l 坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低
l 逆流式真空系统
l 易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器
l UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件消除了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。
l UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间
l 根部泵的速度更快
l UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。
l UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。
典型应用
l 半导体工厂
l 平板显示器制造
l 太阳能电池的制造
l 玻璃和卷材（卷对卷）镀膜
l 一般真空镀膜和应用
INFICON英福康氦质谱检漏仪
规格
UL3000 Fab | ||
粗加工泵的最大泵送速度 | m³/h | >30 |
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA） | L/s | 4 |
尺寸（长x宽x高） | mm In. | 1050x472x987 42x21x34 |
附加功能 | 具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架 | |
UL3000 Fab Ultra | ||
粗加工泵的最大泵送速度 | m³/h | >36 |
氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA） | L/s | 4 |
尺寸（长x宽x高） | mm In. | 1050x472x987 42x21x34 |
附加功能 | 具有最高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架 | |
