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QFHDS系列 双轴超精密气浮运动台
- 型号
- QFHDS系列
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名称：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司简称：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业，专注精密运动台，团队拥有10年以上核心研发经验，拥有多种应用领域经验，成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域：半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向，倾听客户之心声，提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值，坚持高精密为主线，坚决不走捷径，踏踏实实，积厚薄发，长期艰苦奋斗，坚持自我批评与创新，为提高行业精度水平，默默耕耘
详细信息
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
超精度设计
双轴超精密气浮运动台QFHDS结构采用*的碳化硅陶瓷设计，比铝合金气浮导轨性能约高5倍，热膨胀系数约低5倍。用此材料及结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，速度达到1m/s,加速度可达4g.利用多年的气浮轴承制造经验，开发一种新的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。
双轴超精密气浮运动台根据应用，QFHDS可用于主动或被动隔振系统，可安装旋转台，倾角台或晶圆装卸用的夹具等，整套设备可以提供焊接件底座，花岗岩基座或主动被动隔振台等。
我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保*操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
非接触式直驱设计
QFHDS的核心是运用了*的直线电机，采用了无铁芯设计，实现了超平稳的运动。步进轴和扫描轴使用多个电机驱动，安装位置接近于负载水平面，以提高直线度、平面度和倾角误差等，同时电机是隔热的，对于高占空比应用，电机可选水冷或气冷，尽量避免因电机发热引起的误差。
规格指标
型号 | 单位 | QFHDS-300-300-50 | QFHDS -400-400-100 | QFHDS -500-500-200 | |||||||
运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 300 | 300 | 50 | 400 | 400 | 100 | 500 | 500 | 200 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | ±0.2 | |||||
标准值 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.35 | ±0.35 | ±0.5 | ||||||
双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.075 | ±0.025 | ±0.1 | ±0.075 | ±0.1 | ±0.075 | |||
标准值 | ±0.1 | ±0.05 | ±0.15 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | |||||
直线度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±1 | ±0.4 | ±1 | |||
标准值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 | ±2 | ±0.5 | ±2 | |||||
平面度 | Plus值 | μm | ±0.2 | ±0.5 | ±0.3 | ±0.75 | ±0.4 | ±0.75 | |||
标准值 | ±0.5 | ±1.5 | ±0.5 | ±2 | ±0.5 | ±2 | |||||
Pitch/Roll/ Yaw | Plus值 | arc sec | ±0.5 | ±4 | ±1 | ±6 | ±1 | ±6 | |||
标准值 | ±1 | ±6 | ±1.5 | ±7.5 | ±1.5 | ±7.5 | |||||
正交性 | Plus值 | arc sec | 2 | 5 | 2 | 5 | 2 | 5 | |||
标准值 | 5 | 10 | 5 | 10 | 5 | 10 | |||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||||||
速度 | m/s | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | 1 | 0.2 | ||||
加速度 | m/s² | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | 5（10, 20, 30 定制） | 5 | ||||
负载 | Kg | 20 | 15 | 20 | 15 | 20 | 15 | ||||
