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三轴气浮运动平台
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王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名称：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司简称：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业，专注精密运动台，团队拥有10年以上核心研发经验，拥有多种应用领域经验，成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域：半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向，倾听客户之心声，提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值，坚持高精密为主线，坚决不走捷径，踏踏实实，积厚薄发，长期艰苦奋斗，坚持自我批评与创新，为提高行业精度水平，默默耕耘
详细信息
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
三轴气浮运动平台精度性能
XY轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.05μm，平面度±0.1μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，平升Z轴的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.5μm。
三轴气浮运动平台结构特点
XY轴为非接触式气浮结构，精度高和外形尺寸小等特点，气浮导轨间没有机械接触，免维护运行。Z轴为平升直驱结构，承载能力大，抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，提升直线度性能，可选双闭环反馈的方式，获得高重复定位精度和定位精度。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可定制带屏蔽高柔线缆，适合环境噪声大的场合。
定制化
XY轴可定制陶瓷材质气浮导轨，直线度可达±50nm。
注意事项
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，速度大小取决于负载大小。
