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QFL3D系列 三轴气浮运动台
- 型号
- QFL3D系列
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王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
北京瑞邦精控科技有限公司成立于2019年，英文名称：BEIJING AUSPICIOUS-PRECISION TECH CO., LTD，公司简称：瑞邦精控（AUS-PRECISION）。
瑞邦精控作为北京市科技型中小企业，专注精密运动台，团队拥有10年以上核心研发经验，拥有多种应用领域经验，成熟的产品应用案例。
产品包含单轴气浮运动台、气浮转台、多轴气浮运动台、单轴线轨运动台、AB轴机械转台、多轴线轨运动台、精密Z轴、笛卡尔龙门系统、定制系统及超真空运动台等。
应用领域：半导体技术、微纳加工、测试测量、精密制造、激光加工、数据存储、增材制造、生物医疗、光学检测、光纤对准、科学研究及航空航天与国防等。
瑞邦精控以客户应用为导向，倾听客户之心声，提供高精度运动控制方案。通过创新的产品为客户创造价值，坚持高精密为主线，坚决不走捷径，踏踏实实，积厚薄发，长期艰苦奋斗，坚持自我批评与创新，为提高行业精度水平，默默耕耘
详细信息
王欣悦 依巴依-似伍陆陆-捌柒零贰
三轴气浮运动台
产品型号：QFL3D系列
产品应用
广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业。
产品图片
产品特点
非接触式气浮导轨结构
重复定位精度±75nm
结构紧凑精度高
根据需求可定制
优化后的线缆管理系统。
结构优势
QFL3D系列是一款非接触式三轴气浮运动台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步距，还是速度稳定性的要求，QFL3D都证明是终的解决方案。采用直线电机驱动，具有零齿槽效应，高动态性能和电子噪音小等特点，高精度直线光栅反馈，搭配业界*的控制系统，组成三维运动系统，实现超精密定位。
定制化设计
根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴的行程大小等，都可以接受定制。为使阿贝误差影响到小，可以定制化各轴，保证精度性能。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的偏平电缆，以确保*操作，减少故障停机时间。
洁净室兼容性
气浮导轨本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境，所以成为实验室内的理想选择。
规格指标
型号 | 单位 | QFL3D-50-50-25 | QFL3D-100-100-25 | QFL3D-150-150-25 | |||||||
运动轴 | 轴系 | X | Y | Z | X | Y | Z | X | Y | Z | |
行程 | mm | 50 | 50 | 25 | 100 | 100 | 25 | 150 | 150 | 25 | |
定位精度 | Plus值 | μm | ±0.1 | ±0.15 | |||||||
标准值 | ±0.2 | ||||||||||
双向重复定位精度 | Plus值 | μm | ±0.05 | ±0.1 | |||||||
标准值 | ±0.1 | ±0.15 | |||||||||
直线度 | Plus值 | μm | ±0.25 | ±0.5 | |||||||
标准值 | ±0.5 | ±0.75 | |||||||||
平面度 | μm | ±0.5 | ±0.75 | ||||||||
电子分辨率 | nm | 0.3 或 5（选配） | |||||||||
速度 | mm/s | 200 | |||||||||
加速度 | m/s² | 1 , (5定制) | |||||||||
负载 | Kg | 5 | |||||||||
供气压力 | MPa | 0.5±0.05 | |||||||||
