- 面议
起订量：
SF-3 干渉式膜厚仪
- 型号
- SF-3
大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价·检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源·照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价·检查。
以高速·高精度·高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础， 在中国的显示器 市场上有着20年以上销售实例， 为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源·照明 相关方面，对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。
在中国的苏州有设立售后服务点，为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。
我公司的母公司日本大塚电子集团，隶属于大冢集团， 一直以来都谨守大冢集团 的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢为人类的健康创造革新的产品)，不断的推出创新产品，面向开展业务，为社会作出贡献。
详细信息
干渉式膜厚仪以非接触方式测量晶圆等的研磨和抛光工艺，超高速、实时、高精度测量晶圆和树脂。
干渉式膜厚仪特点：
- 非接触式，非破坏性厚度测量
- 反射光学系统（可从一侧接触测量）
- 高速（5 kHz）实时评测
- 高稳定性（重复精度低于0.01％）
- 耐粗糙度强
- 可对应任意距离
- 支持多层结构（多5层）
- 内置NG数据消除功能
- 可进行距离（形状）测量（使用配件嵌入式传感器）*
*通过测量测量范围内的光学距离
Point1：*技术
对应广范围的薄膜厚度并实现高波长分辨率。
采用大塚电子*技术制成紧凑机身。
Point2：高速对应
即使是移动物体也可利用准确的间距测量，
是工厂生产线的理想选择。
Point3：各种表面条件的样品都可对应
从20微米的小斑点到
各种表面条件的样品，都可进行厚度测量。
Point4：各种环境都可对应
因为远可以从200 mm的位置进行测量，
所以可根据目的和用途构建测量环境。
测定项目
厚度测量（5层）
用途
各种厚膜的厚度
式样
| 型号 | SF-3/200 | SF-3/300 | SF-3/1300 | SF-3/BB |
|---|---|---|---|---|
| 测量厚度范围 | 5～400 | 10～775 | 50～1300 | 5～775 |
| 树脂厚度范围 | 10～1000 | 20～1500 | 100～2600 | 10～1500 |
| 小取样周期kHz（μsec） | 5（200）※1 | - | ||
| 重复精度% | 0.01%以下※2 | |||
| 测量点径 | 约φ20以上※3 | |||
| 测量距离mm | 50.80.120※4.200※4 | |||
| 光源 | 半导体光源（クラス３Ｂ相当） | |||
| 解析方法 | FFT解析，适化法※5 | |||
| interface | LAN，I/O入输出端子 | |||
| 电源 | DC24V式样（AC电源另行销售） | |||
| 尺寸mm | 123×128×224 | 检出器：320×200×300 光源：260×70×300 | ||
| 选配 | 各种距离测量探头，电源部（AC用），安全眼睛 铝参考样品，测量光检出目标，光纤清理器 | |||
＊1 ： 测量条件以及解析条件不同，小取样周期也不同。
＊2 ： 是产品出货基准的保证值规格，是当初基准样品AirGap约300μm和
約1000μm测量时的相对标准偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mm探头式样时的设计值
＊4 ： 特別式样
＊5 ： 薄膜测量时使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300
基本構成
測定例
贴合晶圆
Mapping结果
研削后300mm晶圆硅厚度
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