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OPTM 薄膜测厚仪
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生产厂家大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价·检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源·照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价·检查。
以高速·高精度·高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础, 在中国的显示器 市场上有着20年以上销售实例, 为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源·照明 相关方面,对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。
在中国的苏州有设立售后服务点,为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。
我公司的母公司日本大塚电子集团,隶属于大冢集团, 一直以来都谨守大冢集团 的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢为人类的健康创造革新的产品),不断的推出创新产品,面向开展业务,为社会作出贡献。
OPTM series薄膜测厚仪
大塚电子薄膜测厚仪使用显微光谱法在微小区域内通过反射率进行测量,可进行高精度膜厚度/光学常数分析。
可通过非破坏性和非接触方式测量涂膜的厚度,例如各种膜、晶片、光学材料和多层膜。 测量时间上,能达到1秒/点的高速测量,并且搭载了即使是初次使用的用户,也可容易出分析光学常数的软件
特点
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
波長范围 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范围 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
测定时间 | 1秒 / 1点 | ||
光斑大小 | 10μm (小约5μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規格 | 氘灯+卤素灯 | 卤素灯 | |
电源規格 | AC100V±10V 750VA(自动样品台规格) | ||
尺寸 | 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自动样品台规格之主体部分) | ||
重量 | 约 55kg(自动样品台规格之主体部分) |
测量项目: