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FE-3 嵌入式膜厚检测仪
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生产厂家大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价·检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源·照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相 关材料的光学特性评价·检查。
以高速·高精度·高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础, 在中国的显示器 市场上有着20年以上销售实例, 为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源·照明 相关方面,对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。
在中国的苏州有设立售后服务点,为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。
我公司的母公司日本大塚电子集团,隶属于大冢集团, 一直以来都谨守大冢集团 的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢为人类的健康创造革新的产品),不断的推出创新产品,面向开展业务,为社会作出贡献。
嵌入式膜厚检测仪可高精度测量具有波长依存性的多层膜!
产品信息
特 点
•采用分光干涉法
•搭载高精度FFT膜厚解析系统
•使用光学光纤,可灵活构筑测量系统
•可嵌入至各种制造设备。
•实时测量膜厚
•可对应远程操作、多点测量
•采用寿命长、安全性高的白色LED光源
测量项目
·多层膜厚解析
用 途
•光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)
•FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)
设备构成
单点型
•半导体晶圆的面内分布测量
•玻璃基板的面内分布测量
多点型
•实时测量
•流向品质管理
•真空室适用
导线型
•实时测量
•宽度方向品质管理
测量案例
超硬涂层的膜厚解析