蔡司双束电镜 Crossbeam系列

[ 产品简介 ]

蔡司双束电镜Crossbeam系列，是专为高通量3D分析和样品加工制备量身打造的FIB-SEM双束电镜。该系列将场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)镜筒强大的成像和分析性能与全新一代聚焦离子束(FIB)镜筒出色的加工能力相结合。无论是加工、成像或进行3D分析，都能在不损失精度的前提下，提高聚焦离子束的应用效率。模块化的平台概念可以进行后续系统升级，从而满足您不断增加的应用需求。通过加装飞秒激光（Femtosecond Laser）模块，Crossbeam的加工效率和尺度可进一步拓展，同时可以满足多种微纳加工需求。无论是在科研实验室或工业环境中工作，抑或是单用户或多用户工作环境，都能提供高质量的解决方案。

[ 产品特点 ]

ü                      低电压下获得高分辨率电子图像

ü                      可实现大尺寸到纳米精度的切割

ü                      批量自动制备TEM薄片样品

ü                      Atlas 5可创建多尺度、多模式综合图像

ü                      ToF-SIMS 实现高通量3D成分分析

ü                      无漏磁电子镜筒实现真正边切边看

ü                      不导电样品不受荷电效应影响

ü                      加装飞秒激光模块，实现亚毫米级快速加工，同时有效避免腔室污染

[ 应用领域 ]

ü                      生命科学，如断层扫描，三维重构

ü                      电池领域，如组分表征

ü                      半导体领域，如失效分析，电路修复

ü                      金属领域，如界面分析，亚表面分析

ü                      材料科学，如晶体微观结构分析，微纳图形加工

ü                      透射电镜、原子探针（ATP）、EBSD、微纳力学等多种样品的原位制备

GaN HEMT器件TEM样品制备

在硅基底上加工纳米微流通道

3D NAND连续层析成像

Laser大截面快速加工及IC中微柱截面背散射电子成像

原子探针样品制备

线虫三维成像