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GP-1 日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空计传感器
- 型号
- GP-1
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详细信息
日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空计传感器GP-1
传感器单元GP-1是皮拉尼压力计，可测量3,000Pa至0.4Pa。
通过从常规控制器上拆下操作/显示部分并将功能缩小到所需的低限度，该真空计可以“降低成本”和“节省空间”。
GP-1功能
换能器规格：压力指示器是不必要的，如果
降低成本的隔距
节省空间和控制基板周围
的减小的布线
实现这样可维护性：易于更换探头
灯丝材料：采用的铂（Pt）
具有高耐腐蚀性的铂用于灯丝材料。可以与WP系列接触点一起使用：您一直使用的接触点可以原样使用
控制输出信号：可输出2个设定点
测量值输出信号：压力为0-5V输出（非线性输出）
电源电压：可通过DC24V输入进行操作
用途
用于各种制造设备（包括半导体和电子零件）的低真空区域中的过程控制
用于各种工业设备（例如熔炉）的低真空区域中的过程控制
用于在具有多个处理室的各种制造设备的低真空区域中进行处理控制，例如在线型和单板型
日本芝浦机电shibaura皮拉尼真空计传感器GP-1
规范
| 类型 | 传感器单元 | |
|---|---|---|
| 模型 | GP-1 | |
| 自适应探头 | WP-01，WP-02，WP-03，WP-16 | |
| 测量压力范围 | 4.0 x 10 -1〜3.0 x 10 3帕 | |
| 测量精度 | ±15％（51 Pa至760 Pa） ±30％（10 Pa至1,000 Pa） ±50％（0.4 Pa至3,000 Pa） | |
| 工作温度极限 | 10-40°摄氏度 | |
| 采样时间 | 50毫秒5次移动平均处理 | |
| 测量值输出 | 非线性输出：DC 0-5 V（大10 V） | |
| 更新时间 | 50毫秒 | |
| 解析度 | 10毫伏 | |
| 设定值1/2调整输出 | 非线性输出：DC 0-5 V（大10 V） | |
| 控制输出信号 | 集电极开路，负逻辑 错误信号 设定点1/2 | |
| LED显示屏 | 功率，误差，设定值1/2 | |
| 电源电压 | 直流24 V±2 V，90 mA | |
| I / O连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） | |
| 身体质量 | 190克（不含探针） | |
| 配件 | I / O连接器1套 使用说明书1份 | |
IO，模拟GND和电源GND没有隔离。
