LCM025电容膜片真空计
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代理商杭州太昊科技有限公司是INFICON的授权代理商,专业销售INFICON旗下的真空产品及设备,同时致力于先进真空技术的推广和应用,为广大用户改进生产工艺,提升竞争力提供产品服务和技术支持。
目前,公司所经营的产品主要有三大类: 一、膜厚控制/监测系统,产品包括膜厚控制仪、膜厚监测仪、传感器探头、振荡器及坩埚控制仪等;二、气体检漏/分析系统,产品有氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、四极质谱仪(即残余气体分析仪)及其他类型检漏仪;三、真空监测/控制系统,产品主要包括:真空规、压强控制仪、质量流量计、真空阀门、真空密封件等;产品应用覆盖光电技术、太阳能薄膜、半导体制造、照明电器、空调制冷、科研、航天、汽车制造等众多行业和领域。公司本着“积极进取、开拓创新”的精神,不断提升专业技能、完善运营细节,兢兢业业、勤勤恳恳,旨在为广大用户提供更好的真空技术支持和更加完善的售后服务。
我们的理念是“完善自我,携手用户,精诚合作,共同进步”。我们以我们的诚信和服务赢得用户的肯定和信任,以客户的肯定和信任作为我们孜孜以求的动力和目标,期待更多新老朋友来电来函咨询业务,洽谈合作!
LCM025电容膜片真空计
用途
电容膜片真空计LCM025系列用于各压强范围气压的绝对测量。
此电容膜片真空计可通过客户定制的控制单元进行操作。
工作原理
陶瓷膜片因压强变化而偏移.偏移反应为电容量的变更, 由数字电子学测量并转换成模拟线性输出讯号。
输出讯号与气体类型无关。
LCM025电容膜片真空计
真空计调零
真空计在工厂按 "直立" 的方位校准 (® "校准测试报告")。
当真空计刚开始工作时, 建议执行零点调整。
由于长期工作或污染, 可发生零点漂移, 必须调整零点。
为调整零点, 将真空计工作在相同的室温条件下和与常规使用时同样的安装方位。
输出讯号 (测量的讯号) 与安装方位有关, 垂直与水平安装方位之间的讯号差别为:
全量程 DU / 90°
1000 Torr ≈2 mV
100 Torr ≈10 mV
10 Torr ≈50 mV
1 Torr ≈300 mV
ZERO 调整
调整零点可通过:
· 真空计上的
· RS232C 接口
如真空计通过控制器运行, 必须在控制器上调整整个测量系统的零点:
· 首先,调整真空计的零点,接着调整控制器的零点。
1 将真空计抽空至如下表的压强:
如真空计的最终压强过高无法调零 (>25% 全量程),零点调整未能实现, 则指示灯
如遇到这种情况,,启用工厂设定值重新调零 (激活工厂设定值 (工厂复位))。
2 运行真空计至少2 小时 (直到讯号稳定)。
3 用针杆 (最大ø1.1毫米) 短暂地按下
零点调整后, 真空计自动回到测量模式,
· 当最终压强达到时,,讯号输出是负值 (< -20 毫伏)
· 零点调整失败。