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薄膜热应力测量系统

型号
参数
应用领域:环保,化工,生物产业,能源,电子
巨力光电(北京)科技有限公司

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      巨力光电(北京)有限公司立足于北京市副中心通州区,专门引进欧洲、美国、日本等国家制造的先进科学仪器设备,为客户提供完备的售前咨询和售后服务、技术支持。公司骨干在该行业有超过10年的经验,专业的服务水平、完整的售后服务体系。

 目前主要产品涉及材料科学、微纳米技术、表面测量和光电器件、光伏产品、半导体器件的检测与研发等领域。

 公司本着以科技为导向、以客户为中心、以服务为宗旨,竭诚为新老客户提供贴心的服务!


详细信息

薄膜热应力测量系统

已经广泛被著名高等学府(如:Harvard University 2套,Stanford University,Johns Hopkins University,Brown University 2套,Karlsruhe Research Center,Max Planck Institute,西安交通大学,中国计量科学研究院,中科院微系统研究所,上海光机所等)、半导体和微电子制造商(如IBM.,Seagate Research Center,Phillips Semiconductor,NEC,Nissan ARC,Nichia Glass Corporation)等所采用;

 

薄膜热应力测量系统

同类设备:
               薄膜应力测试仪(kSA MOS 薄膜应力测量系统,薄膜应力计);
               薄膜残余应力测试仪;
               实时原位薄膜应力仪(kSA MOS);

技术参数:
kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester, kSA MOS Film Stress Measurement System,kSA MOS Film Stress Mapping System;
  1.变温设计:采用真空和低压气体保护,温度范围RT~1000°C;
  2.曲率分辨率:100km;
  3.XY双向程序控制扫描平台扫描范围:up to 300mm(可选);
  4.XY双向扫描速度:up to 20mm/s;
  5.XY双向扫描平台扫描步进/分辨率:2 μm ;
  6.样品holder兼容:50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直径样品;
  7.程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全样品扫描;
  8.成像功能:样品表面2D曲率、应力成像,及3D成像分析;
  9.测量功能:曲率、曲率半径、应力强度、应力、Bow和翘曲等;
  10.温度均匀度:优于±2摄氏度;

主要特点:
  1.技术:MOS多光束技术(二维激光阵列);
  2.变温设计:采用真空和低压气体保护,温度范围RT~1000°C;
  3.样品快速热处理功能;
  4.样品快速冷却处理功能;
  5.温度闭环控制功能,保证温度均匀性和精度;
  6.实时应力VS.温度曲线;
  7.实时曲率VS.温度曲线;
  8.程序化控制扫描模式:选定区域、多点线性扫描、全样品扫描;
  9.成像功能:样品表面2D曲率成像,定量薄膜应力成像分析;
  10.测量功能:曲率、曲率半径、薄膜应力、薄膜应力分布和翘曲等;
  11.气体(氮气、氩气和氧气等)Delivery系统;

 

测试结果

薄膜热应力测量系统

玻璃上镀SiN应力测试结果80°C

 

 

薄膜热应力测量系统

 

 

玻璃上镀SiN应力测试结果350°C

 

 

薄膜热应力测量系统

玻璃上镀SiN曲率测试结果80°C

 

 

薄膜热应力测量系统

玻璃上镀SiN曲率测试结果350°C

 

同类设备
    • 薄膜应力测试仪(kSA MOS 薄膜应力测量系统,薄膜应力计)
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    • kSA MOS Thermal-Scan Film Stress Tester

    • kSA MOS Film Stress Measurement System

    • kSA MOS Film Stress Mapping System

 

 

 

 

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