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光学镀膜系统
ALD，PECVD，RIE，磁控溅射，热蒸镀，电子束，离子束，晶圆清洗机，PA-MOCVD，飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）
那诺中国有限公司专注于为大中华区域（包括中国大陆、香港、澳门和中国台湾）的高校、科研院所、企业研发与生产等企业机构提供高性能、高性价比、定制化的薄膜工艺加工设备及科学分析检测仪器。
那诺中国提供美国那诺-马斯特薄膜工艺加工设备（包含磁控溅射、热蒸镀、电子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、离子束、DRIE、晶圆兆声清洗机等）。
那诺中国提供英国KORE基于飞行时间的质谱仪，包含飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）、质子转移反应（PTR）质谱仪、电子轰击电离（EI）质谱仪等。
详细信息
光学镀膜系统概述：NANO-MASTER NOC-4000光学涂覆系统提供*进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。
光学镀膜系统应用
- 光学涂层
- 溅射
- 离子束辅助沉积
- 离子束刻蚀清洗
- 离子束辅助反应刻蚀
- 红外涂层
- 表面处理
光学镀膜系统产品特点:
- 射频偏压样品台
- 膜厚监测仪
- 极限真空5x10-7Torr
- 高精度及高重复性
- 高品质膜层
- 原子级的洁净表面
- 原子级清洗和抛光
- 通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
- 自动上下载片
- 两个腔体之间自动传送
- 菜单驱动，4级密码访问保护
- 完整的安全联锁
- 占地面积46”D x 44”W
光学镀膜系统选配项:
- 向下/向上溅射
- 共溅射
- DC，RF以及脉冲电源
- 离子束辅助沉积
- 电子束源
- 等离子源
